АВТОЭЛЕКТРОННЫЙ КАТОД Советский патент 1972 года по МПК H01J1/304 

Изобретение относится к электронной технике.

Известны автоэлектро нные катоды лезвий1ЮГО типа. Однако вытягивающее напряжение у электронных ламп с TaiKHiM катодюм достаточно велико из-за невозможиости выдержать малые межэлектродные расстояния, необходимые для получения малых ра бочих напряжений.

Предлагаемый автоэлектронный катод отличается от известных катодов лезвийного типа тем, что он выполнен в виде плоской подложки, на которой закреплены открытые коробчатые ячейки из проводящего материала.

Такая конструкция обеспечивает .механическую прочность и устойчивость системы

эмигрирующих кромок при бОЛЬЩОЙ ЭМИТТ1Ирующей поверхности и малом вытягивающем иапряжении.

Возможны два вариаогта выполнения катода.

На фиг. 1 представлена предлагаемая конструкция катода; на фиг. 2 - разрез ячейки катода при расположении пленки из проводящего материала на подложке внутри ячеек; на фиг. 3 - то же при расположении пленки между ячейками.

На диэлектрической или проводящей подложке размещены открытые коробчатые ячейки 2 из проводящего .материала, кромки 3 которых являются эмиттирующи ми. Высота коробочки, М1ажет быть от 1 до 10 мкм, толщина стенки 0,01-0,1 мкм. Форма ячейки и отношение ее сторон может меиять-ся.

При изготовлении катода с высотой ячеек

3 мкм, толщиной стенок 0,05-1 мкм при вытягивающем напряжении 200 б на первы.х образцах получен ток до 100-200 Л1ка.

Материал подложек - сапфир, ячеек - тугоплавкие металлы типа молибдена, вольфраэда.

Катод может изготовлен следующим образом.

На подложку напыляют слой вытравливаемого впоследствии материала, например,

меди, кварца. В местах расположения будущих ячеек удаляют до подложки этот слой, так что повер.хность слоя покрывается отверстиями, запыляют всю поверхность и боковые стенки отверстий пленкой материала Катода.

Сошлифовьшают эту пленку с верхней плоскости, так что она остаемся только на дне и боковых стенках отверстий, полностью удаляют вытравливаемый слой избирательным травлением. На повер Х1Ности подлол КИ ссПредмет изобретения

АвтоэлектроНный катод лезвийного типа, отличающийся тем, что, с целью снил :еш-1я

вытягивающего напряжеНИЯ, он выполнен в виде плоской подложки, на которой закреплены открытые коробчатые ячейки из проводящего материала/

/// / /// -/ // /// 7 Фиг 2