СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ДАТЧИКОВ ТЕМПЕРАТУРЫ Советский патент 1972 года по МПК G01K7/22 

Изобретение относится к способу изготовления датчиков температуры на основе кварцевого резонатора с большим температурным коэффициентом частоты (ТКЧ).

Известен способ изготовления кварцевых резонаторов путем резки кристалла кварца на 3aroTOiBKH под заданным углом, измерения ТКЧ и резонансной частоты заготовки.

Недостатком этого способа являются трудности, связанные с необходимостью точного выдерживания угла среза заготовки порядка единиц секунд угла. Во многих областях науки и техники возникает необходимость измерения температуры с высокой точностью, которая предъявляет повышение требования к датчикам температуры на основе кварцевого резонатора с большим ТКЧ. Так, например, для обеспечения точности измерения температуры ±0,01 °С, при приращении частоты на 1°С гц1°С, резонансной частоте Млц, ТКЧ 3,5-10-5 1/°С, допустимое отклонение а не должно выходить за пределы ±10 гц1°С от номинала, а допустимое отклонение ТКЧ при этом ±0,1-10-5 1/°С. Для обеспечения повторяемости ТКЧ с таким отклонением для измерения температуры с вышеупо.мянутой точностью необходимо производить срез кристалла кварца с погрешностью, не превышающей единиц секунд угла. Современные станки позволяют ориентировать угол среза с погрешностью ±30, поэтому неизбежен брак датчиков температуры из-за разброса ТКЧ. Цель изобретения - повышение выхода

годных резонаторов и повышение удобства измерений.

Для этого по предлагаемому способу задают величину произведения fp-ТКЧ и известным способом подгоняют резонансную частоту заготовки до получения указанного значения произведения.

Для приборов с цифровым отсчетом необходимо, чтобы а, было кратно 10, что обеспечивает удобный отсчет.

После распиловки кварцевых элементов под оптимальным углом экспер|Пмента.1ьно определяют значение ТКЧ. Для получения заданного а при реально полученном ТКЧ производят подгонку собственной частоты датчика температуры до значения, определяемого из выражения

Р,

ТКЧ

25

Подготовка частоты датчика температуры на основе кварцевого резонатора с большим ТКЧ легко осуществима и может проводиться любым известным методо.м, применяемым при изготовлении кварцевых резонаторов, 3 Предмет изобретения Способ изготовления кварцевого резонатора датчика температуры путем резки кристалла кварца на заготовки под заданным уг-5 лом, определения температурного коэффнциента частоты (ТКЧ) заготовки и ее резонанс4ной частоты Fp, отличающийся тем, что, С целью повышения выхода годных резонаторов и повышения удобства измерений, задают величину произведения Т р-ТКЧ и известным способом подгоняют резонансную частоту заготовки до получения указанного значения произведения.