ВСЕСО ОЗНАЯnATtiiViiO ;j;i=r;;L.HAJIБЧБЛИО :f;i4A Советский патент 1972 года по МПК B65H75/16 

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и предназначено для хранения и транспортировки кассет со светочувствительными элементами.

Известен комплект для хранения и транспортировки светочувствительных элементов, состоящий из контейнера и кассет, причем контейнер выполнен в виде ящика с крышкой, куда укладываются кассеты с поперечными пазами, в которых экспонируемые пластины располагаются вертикально.

В процессе разгрузки кассет из контейнера на рабочее место возможна засветка светочувствительных пластин, подача которых непосредственно на операцию экспонирования осуществляется с помощью пинцета. При этом наблюдаются механические повреждения фоторезиста. Кроме того, в процессе проведения технологических операций необходима перегрузка кассет из одного контейнера в другой, что требует дополнительных комплектов на рабочем месте.

Целью изобретения - устранение указанных недостатков - достигается за счет того, что контейнер выполнен разъемным в виде двух взаимозаменяемых лотков.

стоящий из двух лотков 1 и 2 и кассет 3. Каждый лоток снабжен ручкой 4 и четырьмя ножками 5, прикрепленными к внещней стороне днища для первого лотка и крыщки для второго лотка. Кассеты имеют гнездо 6 для светочувствительных пластин и светозащитную крышку 7.

Кассеты с пластинами устанавливаются в один из лотков контейнера. Затем они закрываются другим лотком, служащим крыщкой. В таком виде контейнер транспортируется на рабочее место.

На рабочем месте лотки размыкаются и верхний лоток устанавливается на ножки рядом с нижним. Кассеты с пластинами ноочередно подают на технологическую операцию (экспонирование), носле выполнения которой кассеты с нижнего лотка нерекладывают в свободный бывший верхний лоток.

Вновь собранный контейнер транснортируется на следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Комплект для хранения и транспортировки

светочувствительных элементов, состоящий из

контейнера и кассет, отличающийся тем, что,