ДАТЧИК ПЛОТНОСТИ ПЛЕНКИ Советский патент 1972 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится ,к технике измерений пленок или иокрытий, наиесенны.х на нролрачиый свидетель.

Известные датчики, содержащие фотоэлектрическую систему измереиия оптической нлотности, позволяют измерять толщину пленок фотоэлектрическими методами только в случае прозрачных пленок.

Г1редлагае.1ый датчик позволяет измерять толщииу как ирозрачных, так и ненрозрачиых покрытий и пленок, для чего в нем онтическая ось фотоэлектрической системы совмещена с геометрической осью выходных сопл иневмоизмерительиой системы, а участки стеиок воздухопровода, лежащие на оитической оси, выполиеиы из прозрачного материала.

Иа чертеже иредставлена схема иредлагаемого датчика нлотиоети.

Воздух от входного сопла через воздухопровод (измерительную камеру) 2 попадает в

выходные сопла 3 и 4, а световой поток от источника 5 попадает на фотоприемиик 6 через оптическую систему 7 н 8 и исследуемую пленку или :нокрытие 9, нанесенное па прозрачный свидетель.

Плотиость нленки определяют из нзвестиого соотношеппя между оптической илотностью и толщиной.

Пред м е т и з о б р е т е и и я

Датчик плотиости иленки или покрытия, содержащий фотоэлектрическую систему измерения оптической плотности, отличающийся тем, что, с целью расшпрепия днапазона и повышения точностн измерений, ои содержит пневматическую систему измерения толщины, соосиую оптической системе, причем участки, расположенные на лути оптического луча, выполнены прозрачными.

Воздух.

Я MOHuMGrnptj