ИНВЕРСНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ МАНОМЕТР Советский патент 1972 года по МПК G01L21/34 

Изобретение Офноойтся к области «(Якуумомет|рии, в частности к машнитньш элвкт|роразрядиым ма1номет(рам имвероно-марнетронHOiro типа..

Изгаесшные fflHeeipCHbie ма1Г1Н1ет:р он нъ1е маноменры, оодержащ1ие полый цигаиядринеский катюд, закрытый с торцов крышками, с центральным от1ве1рсти1ями, с-11е|ржи1е)во1Й .анод, р.азмбЩеиный по ООи катода, и iMarHMT, обла.дают рядом иедо ататко в.

Нижний .предел давлений, измеряемых м-атииггными эл1е|кт|ро|р,азряд1НЬ М1И M.aiHOiMeapiaми, оцрашпч&н труд1Н01Стью вовниюновання и поддержания разряда при иизких давлениях. Для 3а1Ж1И1га1ния и 1подде(ржа|ни1я разряда, а также для. обесп1е Ч19ни1Я ;вы,оокой чувст1В1ише;льности Н1ео1бходи1Мы б10. р1азМ.ры разрядного промежутка и большое амодное напряжение и А 2,5 кв.

При 1В.ьюомих давлшиях для июключвния возможности пвре1ра1атания разряда IB дуго-вой, у|М1е1Н1ЬШе)н.ия катодного раоаыления, а такж1е угч1€;ньш1е.-ния .аощносФи, выделяемой в манометре, и мощност|и источника питания анодн101го н а1ПрЯ1ЖвН1И1Я в цепь анода вклюоч.ается б алластное сапроТ1И1Вление, KOTOpOie ограничив а1ет ток -в адепи измер1ани я величиной /б , не превыш.аю(щей нескольких .миллиампер. ЭтО приводит гК тому, что с Р.ОСТОМ давления разрядный так .манометра nqpiecTaет 1Ив1М1е1Няться, когда его ,И1на ста1но1вится соизмеримой с током/б Поэтому для р1ааширвн1ия абласти измвршия в .сторону высоких .давлений Н(е1о1бходи1мю, чтобы чувствительность манометра при вы.соких д.авл1е1ния-х была как можно Маньше. Для этого необходимы набольшие размеры разрядного .пр|0межут.ка и малое анодное напря.жеHiBie и А 2, б кв, что проти вор1еч1ит условиям,

необходимым для И ЗМе|ре1НИя вивких давлений.

Поэтому 1НИЖНИЙ. предел дав лений, измеряемых манометр.а.ми, предназ1нач1е(ннъ1М1и для измераНИя высоких да1в.лений, Л1е1ЖИТ в о.блас-ни 1-0 - 10 мм. рт. ст. При ИЗМ1е(р1ании в более широком ди:а1паз.о1Н|е да|Влвний neipeключают реж1И М анодио.го пи1тан1И1Я («biooKOie напряжение пр.и низших дав1Л1ан1И1Ях, малое напряжение при 1ВЫСОКИХ давланиях) или .соз.дают кон1струмции с двумя р;азрядн1ЫМ1и- промежутками .большего .и ме|ньшего разм1ара. Это у|СлОЖНЯ1ет блокИ ПИтаиия, ,прив.одит к ошибкам и13М1ерениЯ из-за переходных процессов Пе.реключвнии р1еж1И1м ов ПИтания, затрудияет П1р;И|М(ане1ние таких манометров в автоматизированных в.акуумных .сиотамах, усло}княет конструкцию маиометра, дел.ает невосп|роизв.одимыми его Хара.Ктеристмиц 1после разборки И сборки электродао.й систем.ы .из-за но друг друга и от1Н10си1телыно MiainraBTiHiOTO . Дл:я расширения ра(бочего диапазона лзMiepflieiMbix давлений, |П1авы(Ш ан1ИЯ точности- и упрощения ;конструкции в пр1е1дл,а1гае:мом инB-epOHOiM MaraiCTpoiHiHOM м.ан-ометре катод выполнен -в |В1И1де ПОЛО1ГО цилиидрического магнита, а .рышии - в «иде 1НолЮ|С1Н1Ы:х н амонеяНИ1МОВ из ма ЛН1и:томя1ГКО:го м ат1е|р1И1ала и образуют ВМ1всте ,маПНИ1Т1ную систему маномегр аг Каггод ДЛИ Исключ1е|ни1я утечек между аио-дюм 1И катодом может (быть изолирован от корпуса MaeoMieiipa. На фит. 1 i 3o6pa«ieiH a схема мадометр-а-; на фиг. 2-пр:афик з ависммости р-азрядного така / от давления Р. Эл1ект1рюд1на1я шстема манаметра содержит катод 1 и аиод 2. Катод / представляет .оо1бой 1ПО.ЛЫЙ ,цилиндрическ1ИЙ .м.а1гаит, выполнвдный, талримар, из сплавка ЮНДК-24Т2, зак|рытый с Tqp:40B .полю1аным1И на,конет1ни.ка1ми 3, ттотовл1енн.ыми1 из Ма1пн11№0мя1ркого ма1терИ1ала, например, из сплава . Полюоные н акон1еч1нИ1К1И 3 удержив аются «а машите (катоде /) ма(пн1Игшым ,пр1И11Я1жан:ием и могут оним.аться. с 1м.апн1ита. Анод 2 .представляет собой стержань, про.ходящий оо оси .катода / через (ве|р1стия ,в полюоных наконеЧНйк-ах 3 катода. Для присоединения к вакуумному объему злектроды смонтированы н.а .флаице, иМеющем два .ввода на изоляторах 5. Один из 1В|ВОДО1В явля1ется одновре,ман1Н10 ст1е(р.жневьгм анодом 2, другой .ввод 6 служит вводом катода ./ .и соединяется .с кольцо-м 7, к KOTOpoiMy с помощью кожуха 8 .к|репится катод /. Для до|П10.лнитель|НО1го крепления кольца ,7 могут i6biTb использо1ва1ны дополяиггельяьне .изоляггоры 9 с глухими нож-ками 10. Рабочий режи/м м аиометра может быть следующим; напряженсие иа аиоде UA 2,5 кв; .катод, 1СО(еди1Н1е|Н1Ный С уоилит€Л1ем постоямиого тока, ваходифся под нулевым пютенциалюм;1Н1а1Пр.яжвН1Ностьма1гя;итного поля Я 1050э. Оод дейотвиам п реоекатащихоя м.алнитнюго и 1Элект1р1И1Ч1е1СКоло пошей в манометр1е возiHiHKaieiT тавовый разряд. Оо В1ел1И1Ч.ине piaeрядн101го тока судят о. давлении газа (см. Фиг. 2). MaiHoiMieTtp М|0Ж1НО л-егко разо1бра|ТЬ для чистки эл1е кт|родО|В.. Для э:толо снимают коЩ а полю.с1ные на1КШ1еч1Н1ИК|И ,3 отоо1ед1иняютоя от цилиндрического машниита. При c6oip электродов .положение катода / относителыно анода 2 фижаируется с .помощью посадочн.01Го места на колъце 7Предмет из.Обретения Ин,в|ер.аный м.а;гнетрюн1ный маном.етр, содерж1ащий адишиндрический катод, зак1рытыйс тортов (м|н .с :Ц1е(Н1тральны1М1и ошверстияМ1И., И сте1р.Ж1невой анод, равМещеннйш .по катода, отличающийся тем, что, с щелью ipacширюния рабочего диапазона повьишания точностй и упрощения К1анст|рукци1В, в нем катод выполнан в виде полого |Цилиндри1ческаго мапнита, а крышии-в виде полю;аных нако(Нечн1И1КО|В из ма1Г1Нито1М1ЯГК|0ГО материала и образуют BiMecTe ма1гн;итн.ую систему маноМетра.

70-

10° 70 10 lO 0 10 W

P,MM.pTCT.