СКАНИРУЮЩИЙ ПАРАЛЛЕЛОГРАММНЫЙ МЕХАНИЗМ Советский патент 1972 года по МПК G01J3/06 

Изобретение относится к точным оптическим приборам и может быть применено в качестве сканирующего устройства ш интерферрометрах типа Фабри - Перо, Сисам, Фурье-спектрометр.

Известные параллелотраммные механизмы пе позволяют обеспечить высокие передаточные отношения при реализации малых перемещений, а также приложить смещающие усилия строго симметрично с двух сторон сканирующего основания и непосредственно к сканирующему элементу.

Предлагаемое устройство позволяет обеспечить малые перемещения рабочих элементов (зеркал, пластин Фабри-Перо и т. д.) с высокой линейностью и чувствительностью и пониженным влиянием к вибрациям. Так, например, при записи свободного спектрального интервала пластину Фабри-Перо необходимо сместить на V2, где - - длина волны настройки. В интерферрометре Фабри - Перо в пределах свободного спектрального интервала записывается обычно 20-30 разрешаемых спектральных интервалов. Таким образом, для записи одного разрешаемого интервала необходимо пластину сместить для рабочей длины волны света 0,6 мкм на 0,01 мкм. Но для индикации положения спектра требуется реализовать регистрацию одного разрешаемого интервала, по крайней

мере, с точностью до 10%. В этом случае чувствительность смещения должна составлять 0,001 мкм.

В предлагаемом устройстве на пружины, соединяющие верхнее и нижнее основание, установлено дополнительное основание, несущее рабочий элемент (зеркало, пластину Фабри-Перо и т. д.).

На чертеже схематически иредставлено предлагаемое устройство.

Система гибких пружин 1, 2 к оснований 3, 4, 5 образует два вставленных друг в друга параллелограммных механизма. За счет изменения соотнощения высот Я и Л между основаниями, а также зазоров а и толщины б пружин -в параллелограммных механизмах можно при сравнительно малых габаритах получить достаточно 1высокие передаточпые отношения (до 10 и более раз). При наличии большого передаточного отношения механизм предъявляет к себе меньшие требования в сборке нижнего параллелограмма по сравнению с известными параллелограммными устройствами, так как в нем смещающие усилия прикладываются к дополнительному основанию строго симметрично с двух сторон.

механизмом, и осуществить плавное, безлюфтовое смещение за счет деформации гибких элементов.

Предмет и з о- б р е т -е .н И я

Сканирующий параллелограммный механизм, содержащий пружины, соединяющие параллельные неподвижные нижнее и подвижное верхнее основания, отличающийся тем, что, с целью обеспечения малых перемещений рабОЧих элементов с высокой линейностью и чувствительностью, механизм содержит, по крайней мере, одно основание, несущее рабочий элемент, устанавливаемое на пружинах между нижним и верхним основаниями.