Пьезоэлектрический акселерометр Советский патент 1976 года по МПК G01P15/09 

1

Иао6ре1ение относится к области измерительной техники.

Известны пьезоэлектрические акселерометры, выполненные в кипе монокерамического прямоугольного блока со сквозными

отверстиями и системой измерительных элетродов.

Цель изобретения - повьпиение чувствительности и упрощение конструкции акселе- рометра.

С этой целью система измерительных электродов выполнена в виде не менее тре металлизированных внутри прямоугольных каналов и двух плоских электродов, нанесенных на противоположные боковые грани блока, параллельные отверстиям.

На фиг. 1 иэображан предлагаемый акселерометр, общий вид; на фиг. 2 - схема поляризадик и распределения электрического поля Б активном слое.

Пьеэоэлектрк.есхий акселерометр представляет собой моюблок 1 из пьезокерамкки с тремя прямоугсо1ьными отверстиямиэлектродами 2, металлизированными внутр, и двумя плоскими электродами 3, нанесен ными путем металлизации участков керамин ки на противоположные грани. На поверхность моноблока 1 нанесено тонкое металлическое покрытие, которое является экраном 4.:

При поляризации моноблока 1 электричес:-кое поле распределяется между электрода- ми 2 и 3 (см. на фиг. 2). После попщгл- зации в моноблоке 1 образуются три зоны: основание 5, активные у астки 6 мэжлу электродами и инерционная масса 7.

При вибрации акселерометра, прикпеенно-i го основанием 5 на вибрирующую поверхность, инерционная масса 7 с силой, пропор- i циональной ускс-ренню, цействует на активные участки 6 пьезокерамики между элек- I тродами 2 и 3. При этом в резупьта- е пье; эффекта возникает переменный эпехтри- ческий сигнал, пропорциональный мгновенно-I му значению ускорения. Этот сигнал снимае.Iся с электродов 2 и 3, сое.,.пленных как | показано на фиг, 2. Действие инерционных

сил направлено перпендикулярно оси поляризации этих участков. Так как высота прямоугольных электродов 2 в напряжении инерционных нагрузок превышает ширину активного участка керамики, а также вследствие того, что при прямоугольной форме отверстий увеличивается однородность пол$физующего электрического поля в активных участках, возрастает рабочая чувствительность акселерометра. Благодаря получению более одно- родной поляризации активных участков в таких пьезоакселерометрах достигается значительное умейьшение боковой чувствительности.

Форму 1а изобретения

Пьезоэлектрический акселерометр, выполненный в виде монокерамического прямоугок його блока со сквозными отверстиями и системой измерительных электродов, отличающийся тем, что, с целью повь«шения чувствительности и упрощения конструкции, в нем система измерительных асектродов выполнена в виде не менее трех металлизированных внутри прямоугольных каналов и двух плоских электродов, нанесенных на противоположные боковые грани блока, параллельные отверстиям.