ВСЕСОЮЗНАЯ ' Советский патент 1973 года по МПК G01R31/26 

1

Изобретение относится к области электрических измерений параметров полупроводниковых приборов.

Известен способ измерения производной нелинейной емкости по напряжению, согласно которому исследуемую емкость включают в контур автогенератора, подают на него внешнее модулирующее напряжение и измеряют изменение частоты относительно неизменной собственной частоты автогенератора, которое пропорционально производной нелинейной емкости по напряжению.

Однако этот способ не обеспечивает возможности проведения массовых испытаний приборов, так как при подключении разных исследуемых приборов необходимо перестраивать емкость в контуре автогенератора. Кроме того, при измерении производной нелинейной емкости ло напряжению данным способом не наблюдается прямо пропорциональной зависимости величины выходного сигнала от значения производной, что вносит дополнительную погрешность в измерения за счет сложности градуировки выходного индикатора.

По предлагаемому способу для повышения точности и обеспечения возможности проведения массовых измерений наряду с постоянным напряжением смещения на исследуемую емкость подают низкочастотное напряжение прямоугольной формы, и последующим двукратным детектированием выделяют постоянное напряжение, прямопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напряжению исследуемого прибора. Описываемый способ может быть осуществлен с помощью устройства, приведенного на чертеже.

Устройство cocTOHJ из генератора /, датчика 2, генератора 3, усилителя 4, первого детектора 5, второго детектора 6, измерительного прибора 7, резистора 8 и клемм 9 для под ключения исследуемого прибора.

При измерении производной нелинейной

емкости по напряжению на исследуемый прибор подается постоянное напряжение от датчика 2, высокочастотное напряжение синусоидальной формы от генератора 3 и напряжение прямоугольной формы от генератора /.

Частота импульсов прямоугольной формы выбирается на два или более порядков меньше частоты генератора 3. На резисторе 8 выделяется модулированное высокочастотное напряжение. Полученное напряжение успливается усилителем и детектируется детектором 5. На выходе детектора 6 возникает постоянное напряжение, 1ПрЯ|М|01Пр01ПОрцИ0,нальное ДС. П.рИ известной величине амплитуды низкочастотного напряжения AL от генератора 1 измерительный прибор 7 градуируется в единицах

величины производной нелинейной емкости по напряжению.

На данном участке может производится измерение емкости исследуемого прибора путем отключения генератора / и подключения измерительного прибора 7 на выходе детектора 5.

Предмет изобретения

Способ измерения производной нелинейной емкости р-п перехода по напряжению путем

подачи на исследуемый прибор высокочастотного синусоидального напряжения малой амплитуды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и обеспечения возможности массовых измерений, наряду с постоянным напряжением смещения на исследуемый прибор подают низкочастотное напряжение прямоугольной формы и последующим двукратным детектированием выделяют постоянное напряжение, прямопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напряжению исследуемого прибора.