ВСЕСОЮЗНАЯ•1-^ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/56 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор. Однако в этой установке ротор по периферии недостаточно уплотнен.

Цель изобретения - создание герметичного периферийного уплотнения ротора. Это достигается тем, что ротор выполнен из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевьгми полостями, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством.

На фит. 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1.

Установка состоит из камеры /, внутри которой расположен испаритель 2, и шлюзового устройства, выполненного в виде корпуса 3, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор 4 из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями 5, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством, например ва.куумной резиной, Поджимаемой со стороны торцов тарелками 6 и создающей под действием торцового прижима тарелок радиальное расщирение поворотного

имюзового ротора и герметичное прижатие его к поверхности трения. Корпус со стороны торцов герметично уплотнен крышками 7 и 8, в которых встроены подшипники 9 и манжеткое уплотнение вала шлюзового ротора, соеди 1енного с приводом поворота 10. К корпусу 3 пристыкована система промежуточной откачки 11 для создания предварительного разряжения в кармане шлюзового ротора с

изделием, поступающим с загрузочной позиции, Находящейся в зоне с атмосферным давление.м.

Изделие загружают из атмосферы через боковое отверстие корпуса в карман шлюзового ротора 4. Ротор от привода 10 поворачивается и переводит изделие на позицию промежуточной откачки 11, а затем в камеру 1. Далее транспортным механизмом 12 изделие из кар.мана щлюзового ротора перемещается

на позицию технологической обработки /5. В данном случае в качестве технологической обработки показан процесс катодного распыления в среде инертного или химически активного газа (реактивное распыление), для которого наиболее эффективно применение предлагаемой полуавтоматической вакуумной шлюзовой установки в силу высокой производительности, простоты регулирования и контроля параметров процесса. Напуск заданного газа происходит непрерывно через систему

капуска 14. Одновременно с технологическо обработкой изделия идет выгрузка в ат1Мосферу готового изделия и загрузка очередного полуфабриката в диаметрально расположенный карман шлюзового ротора 4.

После технологической обработки изделие перемещается транспортным механизмом 12 обратно в карман шлюзового ротора 4 и выводится на исходную позицию. Причем, одновременно в камеру / лостртает очередной полуфабрикат, ранее загруженный оператором в диаметрально расположенный карман шлюза.

Предмет изобретения

Установка для нанесения покрытий в вакууме, содержаш,ая камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовый ротор, отличающийся тем, что, с целью создания герметичного периферийного уплотнения ротора, Последний выполнен из самосмавывающегося материала с кольцевыми и полуколъцевыми полостями, заполненными материалом, обладаюшим гидростатическим свойством.

к гагодой магистрали