Изобретение предназначено для использования в вакуумно-технологическом оборудовании для производства элементов электронных приборов методами напыления и других технологических операциях.
В отличие от известных устройств аналогичного назначения (см., например, патент ФРГ № 925633, 1955 г., кл. 47g, 22/01) данная конструкции имеет более надежное уплотнение шлюзового цилиндра, благодаря применению материала, обладающего гидростатическими свойствами в полостях уплотнения - вкладыша, изготовленного из самосмазываюш,егося материала (например, фторопласта).
На фиг. 1 изображен шлюз, профильный разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху с вырывом; на фиг. 3 - частичный поперечный разрез по Л-/1, на фиг. 1; на фпг. 4 - поперечный разрез по Б-Б на фиг. :.
В корпус / вмонтирован на noAmnrniHKax . шлюзовой цилиндр 3 с обработанной с высоким классом чистоты новерхностью. Со стороны атмосферы в прямоугольное окно корпуса вставлен вкладыш 4 из самосмазывающсгося материала, герметичное соедииение которого с корпусом обеспечивается посредством гайки 5 через шайбу 6 уплотнением 7, смонтированным в боковой крышке 8.
гим материалом с гидростатическими свойствами, полости образуют на вкладыше тонкую стенку герметично прижимающуюся к щлюзовому цилиндру гп;1ростагическпм материалом под действие пробок /., закрглБПюпдпх полости с торцов, в крышках 12 и 7Л, герметично состыкованных с корпусом со стороны торцов, с лонтировапы прпжимы, состо.чшие из винтов 14 и штифтов 15, оказывающих прижимпое усилие на пробки. Прпжимш .е винты загерметизировапы зг;ГЛ}шк;;мп /6 п глпгглми /7. Зазор шлюзового цплппдра с корпусом со сторопы вакуума составляет пе более 0,1 ;,/,«., что обеспечивает эффективность откачки.
работает следующим обиписаппыи шлю разом.
срез отверстие в боковой крьипке 8 i вкладыш 4 объект шлюзования загрул.астся в гнездо шлюзового цилиндра ,. Цнлиндр от г.нешнего привода )ач11вается так, что ггездо е объектом щлюзовання проход -;т промежуточную откач1-:у. а затем объект выгружается в рабочую .
Предмет изобретения
Вакуумное щлюзовое устройство, состоящее из корпуса с системой промежуточной откачки, ш/позового цплипдра с приводом и уплотпепия из самосмазывающегося материала с
отверстием для передачи объекта шлюзования, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени герметичности шлюзового цнлнндра, уплотнение содержит полости, заполненные матерналом, обладающим гидростатическими свойствами, так что полости образуют в уплотнении тонкую стенку, герметично прижимаюш,уюся к шлюзовому цилиндру гидростатически:, материалом, находяшимся под давлением нрижимных винтов через закрываюшие полости пробки, форму ноперечиого сечения полости.
/«/2/J// ji f ;- 4557//J/5/7
Риг г
/ -А
