ПРЕДОХРАНИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО К ФОРВАКУУМНОЙ Советский патент 1973 года по МПК H01J13/30 F16K17/42 

1

Данное устройство предназначено для защиты от прорыва атмосферы, как одиночного вакуумного технологического оборудования, так и систем централизованной откачки.

Известны предохранительные устройства с чувствительным элементом в виде мембраны, воздействующей на рычажную систему, автоматически закрывающую клапан. Устройство содержит линию задержки газового потока, представляющую собой ряд последовательно соединенных камер, где за счет потерь на внезапное сужение и расширение при переходе из одного объема в другой воздушный поток замедляется и обеспечивает возможность своевременного закрытия клапана.

Основными отличительными особенностями предлагаемого предохранительного устройства является то, что мембранный чувствительный элемент заменен двумя практически безынерционными электроразрядными датчиками, а газовый поток замедляется двумя эжекторными устройствами с камерами накопления задерживаемого газа.

Целью изобретения является увеличение проводимости и обеспечение возможности срабатывания устройства при прорыве атмосферы как со стороны технологического объема, так и со стороны форвакуумной магистрали.

На чертеже показана принципиальная схема предохранительного устройства к форвакуумной магистрали. Устройство состоит из двух электроразрядных датчиков 1 (чувствительных элементов), представляющих собой два металлических электрода (для одного датчика) с разрядным промежутком; эжекторных устройств, состоящих из сопел 2 -л 3, камер накопления 4, быстродействующего клапана 5, схемы электропитания и автоматического управления быстродействующим клапаном.

Предохранительное устройство работает следующим образом.

В случае аварийного прорыва атмосферы со стороны патрубка 6 (или 7-безразлично)

воздушный поток в первую очередь достигает электроразрядного датчика /, что мгновенно вызывает появление импульса разрядного тока, который приводит к отпиранию тиристора 8, вследствие чего разрядом конденсатора

9 на обмотку стопорного электромагнита осуществляется срабатывание быстродействующего клапана 5. Остронаправленный поток из сопла 3 запирает входную кольцевую щель сопла 2 и препятствует проникновению газа,

накапливающегося в камере 4, до тех пор, пока давление в камере 4 не достигает критического значения. За время наполнения камеры 4 до критического давления быстродействующий клапан 5 успевает перекрыть вакуумпровод и приостаповпть, таким образом, распространение прорвавшегося газа.

В случае медленного поступления воздуха предохранительное устройство перекрывает форвакуумиую магистраль при достижении в области расположения одного из электроразрядных датчиков определенного разрежения, при котором начинается разряд.

Включение в работу предохранительного устройства осуществляется вручную или автоматически при определенном давлении.

Предмет изобретения

Предохранительное устройство к форвакуумной магистрали, содержащее два блока задержки газового потока с встроенными чувствительными элементами, подсоединенных к входному и выходному патрубкам быстродействующего клапана, отличающееся тем, что,

с целью увеличения проводимости и обеспечения возможности срабатывания устройства при прорыве атмосферы как со стороны технологического объема, так и со стороны форвакуумной магистрали, оно снабжено

безынерционными электроразрядными чувствительными элементами и блоками задержки в виде эжекторных устройств с камерами накопления.