1
Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Известные устройства для совмещения и экспонирования рисунков фотошаблона и полунроводниковой пластины состоят из микроскопа для наблюдения за совмещением, осветителя для осуществления экспонирования, линзового объектива для проекцирования изображения рисунков фотошаблона на полупроводниковую пластину, столика с манипулятором, на котором установлен фотошаблон, столика с полупроводниковой пластиной.
Недостаток известных устройств - недостаточно высокая производительность.
Целью изобретения является повышение производительности за счет одновременного совмещения и экспонирования двух пар фотошаблонов и пластин.
Цель достигается благодаря тому, что объектив выполнен зеркальным с кольцевым нолем зрения м установлен в вертикальном корпусе, на верхнем торце которого диаметрально противоположно его оси попарно расположены фотошаблоны и пластины, обращенные рабочими поверхностями в сторону объектива.
На фиг. 1 показано нредложенное устройство, продольный разрез по А-Л; на фиг 2 - то же, вид сверху.
На шариковых опорах / установлен зер2
кальный объектив 2 с кольцевым полем зрения. На фланце 3 зеркального объектива закреплены три координатно-цоворотных столика 4 с установленными на них фотошаблонами 5 и три столика 6 с установленными на них полупроводниковыми или ситалловыми пластинами 7. Под каждым фотошаблоном я под каждой пластиной на диске 8 установлены светофильтры 9. Над одним фотошаблоном на плите 10 смонтирован микроскоп 11 для проведения операции совмещения, над другим фотошаблоном- осветитель 12 для проведения операции экспонирования. После операции совмещения зеркальный объектив при помощи электродвигателя 13 поворачивается и совмещенная пара фотошаблон - пластина переходит на позицию экспонирования, а на позиции совмещения оказывается другая пара фотощаблон - пластина.
Предмет изобретения
Устройство для совмещения и экспонирования рисунков фотошаблона и полупроводниковой пластины при проекционной фотолитографии, содержащее микроскоп, осветитель, объектив, столики с манипуляторами для фотошаблонов и полупроводниковых пластин, огличающееся тем, что, с целью повышения производительности за счет одновременного совмещения и экспонирования двух пар фо
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом | 2018 |
|
RU2674405C1 |
УСТАНОВКА КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН С БАЗОВЫМ СРЕЗОМ | 2018 |
|
RU2691159C1 |
УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКА Фо|с1Щ^ЛрНА '• I С РИСУНКОМ подложки ПРИ КОНТАКТНОЙ ФОТОПЕЧ/СТЙ-^ | 1967 |
|
SU190210A1 |
Фотоповторитель | 1977 |
|
SU680466A1 |
Двухпольная установка совмещения и экспонирования | 1967 |
|
SU307697A1 |
Трехканальный фотоэлектрический микроскоп | 1971 |
|
SU498591A1 |
Проекционная система | 1975 |
|
SU540241A1 |
Устройство для проекционной печати и совмещения рисунков фотошаблона с подложкой | 1972 |
|
SU481145A1 |
Установка контактной фотолитографии для полупроводниковых пластин с базовым срезом | 2022 |
|
RU2794611C1 |
Устройство для оптического фотографирования | 1972 |
|
SU447668A1 |
Авторы
Даты
1973-01-01—Публикация