УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ РИСУНКОВ ФОТОШАБЛОНА И ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известные устройства для совмещения и экспонирования рисунков фотошаблона и полунроводниковой пластины состоят из микроскопа для наблюдения за совмещением, осветителя для осуществления экспонирования, линзового объектива для проекцирования изображения рисунков фотошаблона на полупроводниковую пластину, столика с манипулятором, на котором установлен фотошаблон, столика с полупроводниковой пластиной.

Недостаток известных устройств - недостаточно высокая производительность.

Целью изобретения является повышение производительности за счет одновременного совмещения и экспонирования двух пар фотошаблонов и пластин.

Цель достигается благодаря тому, что объектив выполнен зеркальным с кольцевым нолем зрения м установлен в вертикальном корпусе, на верхнем торце которого диаметрально противоположно его оси попарно расположены фотошаблоны и пластины, обращенные рабочими поверхностями в сторону объектива.

На фиг. 1 показано нредложенное устройство, продольный разрез по А-Л; на фиг 2 - то же, вид сверху.

На шариковых опорах / установлен зер2

кальный объектив 2 с кольцевым полем зрения. На фланце 3 зеркального объектива закреплены три координатно-цоворотных столика 4 с установленными на них фотошаблонами 5 и три столика 6 с установленными на них полупроводниковыми или ситалловыми пластинами 7. Под каждым фотошаблоном я под каждой пластиной на диске 8 установлены светофильтры 9. Над одним фотошаблоном на плите 10 смонтирован микроскоп 11 для проведения операции совмещения, над другим фотошаблоном- осветитель 12 для проведения операции экспонирования. После операции совмещения зеркальный объектив при помощи электродвигателя 13 поворачивается и совмещенная пара фотошаблон - пластина переходит на позицию экспонирования, а на позиции совмещения оказывается другая пара фотощаблон - пластина.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения и экспонирования рисунков фотошаблона и полупроводниковой пластины при проекционной фотолитографии, содержащее микроскоп, осветитель, объектив, столики с манипуляторами для фотошаблонов и полупроводниковых пластин, огличающееся тем, что, с целью повышения производительности за счет одновременного совмещения и экспонирования двух пар фо