УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКА Фо|с1Щ^ЛрНА '• I С РИСУНКОМ подложки ПРИ КОНТАКТНОЙ ФОТОПЕЧ/СТЙ-^ Советский патент 1967 года по МПК H05K3/12 

Известны устройства для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подложки при контактной фотопечати, в которых применены копировальные установки, содержащие основание, координатно-поворотный стол с микрометрическими винтами для совмещения под микроскопом рисунка или отметки на фотошаблоне с соответствующими отметками на подложке.. Однако эти устройства не обеспечивают высокоточного совмещения всех знаков на фотошаблоне со всеми знаками на подложке и прижим ее к фотошаблону, не нарушая совмещения. Полупроводниковая пластина (подложка) имеет клиновидную, а не плоскопараллельную форму, отдельные пластины отличаются но толщине, что значительно затрудняет совмещение их с рисунком фотошаблона известными средствами.

Предложенное устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подложки при контактной фотонечати, содержащее неподвижное основание, подвижной стол и поворотный столик, укрепленный с помощью полой трубы на неподвижном основании, позволяет получить равпомерный зазор между фотошаблоном и подложкой независимо от толщины полупроводниковой пластины (подложки) и ее клиновидности. С этой целью подложка расположена на шарнирном сегменте, размещенном в гнезде, кинематически связанном с двумя соосно расположенными плунжерами различной длины, укрепленными на подвижном столике, положения которых фиксируются пневматически. Для устранения возможности смещения подложки относительно фотошаблона гнездо связано с подвижным столиком при помощи параллелограмма с пружинными шарнирами. На фиг. I схематически изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг. 2 представлена принципиальная схема устройства совмещения и ориентирования подложки и фотошаблона.

На столе / под скафандром 2 размещены

устройство совмещения 3, оптическое устройство 4 для наблюдения за совмещением и устройство для экспонирования. Устройство совмещения содержит узел 5 установки и ориентирования подложки, поворотный столик 6, кассету 7 и микроманипулятор 8, перемещающий устройство для ориентирования и установки подложки в горизонтальной плоскости. Устройство совмещения установлено на подвижном столике манипулятора 9 и представляет собой гнездо 10 с шаровым сегментом 11, подвешенным к основанию 12 при помощи параллелограмма с пружинными шарнирами 13, обеспечивающего при его небольших вертикальных перемещениях смещение гнезда 10

тожно малые, практически исключающие горизонтальные смещения.

В щаррвом сегменте 11 имеется нолость 14, отделенная от полости 15 в гнезде 10 мембранным клапаном 16.

На основании 17 по оси гнезда 10 в отверстии концентрично расположены плунл ;еры 18 и 19, длину последнего можно изменять с помощью микрометри шской гайки 20.

Плунжер 19 может быть зафиксирован в любом положении относительно основания 12 при помощи фиксатора 20, который включается при нодаче давления воздуха в диафрагменную камеру с вялой мембраной 21.

При помощи диафрагменной камеры 22 с вялой мембраной, через плунжер 18, гнездо 10 с шаровым сегментом 11 подложка 23 имеет возможность вертикально перемещаться.

Поворотный столик 6 установлен на неподвижной части микроманипулятора 3 при помощи неподвижной тумбы 24 так, что его верхняя и нижняя плоскости параллельны плоскости перемещения подвижного столика манипулятора 9. Радиальному смещению при повороте столика 25 препятствуют два ролика 26 и подвижной ролик 27, установленный на эксцентричной оси 28 и при помощи пружины 29 прижимает поворотный столик 25 к двум роликам 26, чем устраняются радиальные биения.

Вбртикальное перемещение столика 25 обеспечено винтами, на чертеже не указанными, а угловые смещения - микрометренными винтами, установленными на кронщтейне 30.

Подложку 23 укладывают на поверхность щарового сегмента 11, и вакуум, созданный в полости под ней, фиксирует ее положение. Фотощаблон 31 размещен в кассете 32 и установлен на поворотный столик 25. Положение кассеты 32 также зафиксировано при помощи вакуума.

Под давлением воздуха, нагнетаемого в полость 15, всплывает щаровой сегмент //. Переместивщийся от давления в диафрагменной камере 22 плунжер 18 прижимает подложку 23 к щаблону 31. При этом щаровой сегмент 11 легко разворачивается, и происходит совмещение поверхности подложки с нижней поверхностью щаблона. При дальнейшем движении плунжера 18 вверх гнездо 10 плотно сконтактирует с шаровым сегментом. Положение плунжера 19 фиксирует фиксатор 20. В

строго фиксированном полол ении производят

экспонирование светочувствительного слоя на

фотоподложке.

После снятия давления воздуха в камерах

гнездо 10 с подложкой 23 опускаются на величину разности длин плунжеров 18 и J9, что создает зазор между подложкой и шаблоном для перемещения и совмещения.

Пред мет изобретения

1.Устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком подложки при контактной фотопечати, содержащее неподвижное основанве, подвижной стол и поворотный столик,

укрепленный с помощью полой трубы на неподвижном основании, отличающееся тем, что, с целью обеспечения постоянного равномерного зазора между фотошаблоном и подложкой вне зависимости от толщины и клиновидности последней, в нем подложка расположена на шаровом сегменте, размещенном в гнезде, кинематически связанном с двумя соосно расположенными плунжерами, различной длины, укрепленными на подвижном столике,

внещний из которых снабжен пневматическим стопором, а внутренний - пневматическим приводом.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью устранения смещения подложки

относительно фотошаблона, в нем гнездо связано с подвижным столиком при помощи параллелограмма с пружинными щарнирами.

П 322 в

33

I / / /

r/;-fV r - ; WT 4

Фиг 1

27