СПОСОБ ИНФРАКРАСНОГО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ Советский патент 1973 года по МПК G01R31/308 G06F11/30 

I

Изобретение относится к области контрольН10-измер,ительной техники и может быть применено для .инфракрасного контроля электрических схем, например многослойных пленочных электронных схем.

Известен способ .неразрушающего инфракрасного контроля температурных полей радиоэлектронных схем, основанный на сканировании их пове рхности в рабочем режиме и сравнении записанного на бумагу температурного поля в виде профилей по линиям сканирования с записями, полученными с эталонной схемы.

Однако этот способ непригоден для контроля многослойных электронных схем из-за экрднизации в рабочем режиме нижних слоев верхними и неопределенности результатов контроля слоев при сканировании поверхности схем.

Предлагаемый способ контроля качества многослойных пленочных схем отличается от известного тем, что для разогрева отдельных элементов схемы, расположенных в различных -слоях, ра контролируемую схему подают дозированные по мощности импульсы электрического тока сОГласованло со сканированием по каждой линии поверхности схемы.

Это позволяет повысить точность и -скорость контроля, чему способствует охлаждение нагреваемых участков схемы потоком воздуха.

Схема устройства, поясняющая реализацию

предложенного способа, изображена на чер7еже.

На чертемсе приняты следуюпдие обозначения: / - контролируемая схема; 2 - каретка; 3 и 4 - кулачки; 5 - барабав, 6 - магнитная лента; 7 - бобины; 8 - головка записи, считывания и стирания программы сигналов на подачу импульсов тока для разогрева элементов схемы; 9 - головка записи, считывания и сти,рания эталонного сигнала; 10 - головка записи, считывания ,и стирания сигналов с величинами допусков; 11-электронная вычислительная машина (ЭВМ); 12 - шланг с многожильным кабелем; 13 - объектив инфракрасного радиометра; 14 - модулятор; 15 - приемник инфракрасного излучения; 16 - усилитель.

Устройство работает следующим образом. При вращении кулачков 3 и 4 каретка 2

с испытуемой схемой / перемещается по координатам X и У- Одновременно перемещается лента 6 с трехдорол ечной записью. ЭВМ 11 через кабель 12 подает на выводы схемы / разогревающие электрические импульсы. Инфракрасный радиометр, состоящий из элементов 13-16, преобразует тепловую радиацию эле.ментов схемы в электрический сигнал и подает его в ЭВМ 11.

Полученный при многократном сканироваНИИ электрический сигнал от каждого элемента поверхности схемы сравнивают с эталонМым сигналом, а выявленную путем вычитания сигн1алов разно.сть сраБнивают с .периодически изменяющимся эталонным сигналом величины допуска на отклонение значений тепловой .радиации от каждого участка схемы по линиям скан,ирова«ия. Таким образом, появляется возможность за несколько повторных сканирований рационально проконтролировать тепловыделение элементов со всех пленочных слоев схемы. Обдув схемы потоком охлаждающего воздуха ускоряет процесс диагностики состояния исачедуемых схем.

Предмет изобретения

Способ инфракрасного контроля качества многослойных пленочных электронных схем путем сканирования их поверхности в потоке охлаждающего воздуха и сравнения полученных сигналов с эталонными сигналами, отличающийся тем, что, с целью ловыщения точности и быстродействия контроля качества, синхронно со сканированием на элементы контгролируемых слоев схемы подают дозированные по мощности импульсы электрического тока.