УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ Советский патент 1973 года по МПК G01B13/22 

Известно устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с соплом вакуумную камеру, вакуумный насос и вакуумметр. Цель изобретения - повышение точности контроля эксплуатационной характеристики контактной поверхности полупроводниковых элементов. Для этого предлагаемое устройство снабжено съемной вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере и элементами поджима изделия к соплу. На чертеже показано описываемое устройПроверяемое изделие 1 помещают на сопло 2, образующее вместе с корпусом 3 вакуумную камеру, соединенную с вакуумным насосом 4 и вакуумметром 5. Дополнительная съемная камера 6 соединена с натекателем 7 и измерителем 8 давления. Прил имная пластина 9, воздействующая на изделие, соединена с камерой 6 сильфоном Ю, открытым в атмосферу. Перед измерением изделие /, помещенное на сопле 2, закрывают камерой 6 и включают насос 4. Давление атмосферного воздуха с постоянным усилием воздействует через пластину 9 на изделие /. Регулируя положение натекателя 7, устанавливают заданное давление по измерителю 8. Показания вакуумметра 5 характеризуют качество поверхности изделия 1. Предмет изобретения 1.Устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с соплом вакуумную камеру, вакуумный насос и вакуумметр, соединенные с камерой, отличающееся тем, что, с целью повыщения гочности контроля эксплуатационной характеристики контактной поверхности полупроводниковых элементов, оно снабжено съемной вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере и элементами поджима изделия к соплу. 2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что элементы поджима изделия к сонлу выполнены в виде прижимной пластины и сильcj)OHa, герметично связывающего пластину со стенкой съемной камеры, причем полпггь сильфона открыта в атмосферу.