УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ плоского ИЗДЕЛИЯ Советский патент 1973 года по МПК G01B13/22 

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля контактных новерхностей, например, элементов полупроводниковых приборов.

Известное устройство содержит корпус, в котором размещены измерительное сопло, сопрягаемое рабочей поверхностью с контролируемой поверхностью изделия, и пневматический упругий элемент поджима изделия к соплу, натекатель и измеритель давления, сообщенные с корпусом, вакуумный насос и вакуумметр, сообщенные с измерительным соплом.

В устройстве реализуется молекулярный режим течения воздуха во всей зоне измерения и по показаниям вакуумметра оценивается .качество поверхности, контактирующей с измерительным соплом.

Цель изобретения - обеспечить контроль качества и параллельности обеих поверхностей.

Это достигается тем, что устройство снабжено подвижным к первому соплу вторым измерительным соплом, рабочая поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла, сообщенным с вакуумным насосом.

Устройство может быть снабжено плунжером, размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным

насосом, и пружиной, поджимающей плунжер к изделию.

Это обеспечивает прижатие изделия независимо от работы второго измерительного сопла.

На чертеже представлена конструктивная схема устройства.

В корпусе 1 размещены измерительные сопла 2 и 3, плунжер 4 и пружина 5, которая упирается во фланец 6, соединенный через резиновую мембрану 7 с корпусом.

Вакуумный насос 8 сообщен каналами с сонлами 2 и 3 и вакуумметром 9. К корпусу присоединены натекатель 10 и измеритель 11 давления.

Взаимное положение сопл и корпуса фиксируется щ.понками 12.

Рабочие поверхности сопл параллельны. Перед измерением изделие 13 помещают в корпус, сопло 2 жестко скрепляют с корпусом, а сопло 3 накрывают фланцем 6 и включают насос 8.

Атмосферный воздух давит на фланец 6, выполняющий вместе с мембраной 7 роль пневматического упругого элемента, и зажимает изделие между рабочими поверх1 остями сопл.

Плунжер 4 обеспечивает надежный поджим изделия к соплу 2.

Регулируя натекатель 10, устанавливают заданное давление по измерителю 11.

Для одновременного контроля качества и параллельности обеих поверхностей насос 8 сообщают с обоими соплами.

При контроле качества одной из поверхностей с насосом сообщают сопло, контактирующее с этой поверхностью.

Показания вакуумметра 9 характеризуют в первом случае плоскопараллельность и качество обеих поверхностей, а во втором - качество контролируемой поверхности изделия.

Предмет изобретения

1. Устройство для контроля качества поверхностей плоского изделия, содержащее предназначенный для установки изделия корпус, в котором размещены измерительное сопло, сопрягаемое рабочей поверхностью с

контролируемой поверхностью, и пневматический упругий элемент поджима изделия к соплу, натекатель и измеритель давления, сообщенные с корпусом, вакуумный насос и вакуумметр, сообщенные с измерительным соплом, отличающееся тем, что, с целью одновременного контроля качества и параллельности обеих поверхностей, оно снабжено нодвижным к первому соплу вторым измерительным соплом, рабочая поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла, сообщенным с вакуумным насосом.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью прижатия изделия независимо от работы второго измерительного сопла, оно снабжено плунжером, размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным насосом, и пружиной, поджимающей плунжер к изделию.

Q Г - --У.

К + li ((л}

- .

V у я .,-.

Д ..iLlt L

.