ПРИБОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ТЕТРАХЛОРИДА Советский патент 1973 года по МПК G01N13/00 

1

Изобретение может быть применено в эпитаксиальной технологии и производстве полупроводникового кремния.

Известное устройст1во содерл ит измерительный и эталонный газовые каналы с чувствительными элементами, расположенными ю них, и измерительную систему. В качестве чувствительных элементов применены термисторы. Каждый термистор соединен с отдельной транзисторной цепью, которая задает режим работы термистора.

Цель изобретения - повысить точность результатов измерения при скорости газового потока и упростить нрибор.

Это достигается тем, что измерительный и эталонный газовые каналы снабн ены газовыми ячейками диффузионного типа, в которых установлены чувствительные элементы.

Причем в качестве чувствительных элементов использованы термопреобразователи, соединенные в каждом канале последовательно IB термобатарею.

На фиг. 1 изобрал ен предлагаемый прибор, общий вид; на фиг. 2 - разрез блока чувствительных элементов вдоль одного из газовых каналов.

Блок чувствительных элементов состоит из массивного корпуса 1 с измерительным и эталонным газовыми каналами 2, снабженными двумя газовыми ячейками диффузионного типа 3, расположенными перпендикулярно оси газовых каналов. В газовых ячейках каждого канала вакуумно-плотно установлены термопреобразователи 4, например типа ТВБ-9. Штуцеры 5, установленные на входе н выходе каясдого канала, служат для нрисоедннения прибора к системе.

Нагреватели термопреобразователей соединены последовательно. Рабочий ток задается сопротивлением 6 ( ом) и регистрируется миллиамперметром 7. Измерительные цепи термопреобразователей включены в каждом канале последовательно с учетом полярности и образуют термобатарею. Электроизмерительный прибор 8 регистрирует разность термоэдс, возникающую при изменении теплопроводности газовой среды. Переменное сопротивление 9 служит корректором нуля. Первоначально вся система продувается чистым водородом, который проходит по измерительному и эталонному каналам и омывает термопреобразователи. Сопротивлением 9 устанавливают нуль прибора 8, что соответствует отсутствию тетрахлорида кремния в водороде. Затем в измерительный капал вводится парогазо вая смесь, содержащая пары тетрохлорида кремния. Термопреобразователи эталонного канала остаются в среде чистого водорода, а термопреобразователи измерительного канала омываются водородом, содержащим пары те