СПОСОБ ОЧИСТКИ ГРАФИТОВЫХ ИЗДЕЛИЙ Советский патент 1973 года по МПК C01B31/04 

Изобретение относится ;к техиоло.гии о-чнстК(И граф итовых 11 элел1иГ1, «атрИмер тигле , ЛОдочек, ионОЛьзуе-мьг.х в полуирюлюдникосо технике )В условиях, лде «еизбежен непосредстаенный контакт особо чистото .расплава полулр01водни ковых -матер.иалав с прафито м.

Известен опособ 0Ч1ИСТ1КИ графитовых «зде;iHii для полупроводниковой техни1К И «агреваН;ием 1В среде инертного газа, затем iB с.меси с галоидсодержащим газом с последующим охлаждение.м IB восстановительной среде, нанример в углеродсодержащей засыике.

.ПоБЫИ1ен ие псачества очистии графитовых И13дел:иГ1 обеспечивается тем, что процесс охлаж;дения очаиценных 1издел1ий ведут в вакууме, это.м необ.ходилго процесс на.греваИИЯ и охлаждения вест.и в раздельных 0|бъемах, что позволяет устранить явление оиратпого затря:,не11ИЯ иЧ:111цон ;ь;х нзделги inpiniMCся.МИ, ,выдели1ь1111И1.мися в процессе нагро вапия.

Пример. Граиритовыц тигель, предназначенный для очистки. помещают в герметагческ.и закрываюпгуюся камеру и нагревают в атмосфере гелия до 1000-1100°С, а затем в телия с ф|реонОМ-12 до тем-пературы . После ВыдерЖКИ при aroii темшерат-уре в течен ие 20 мин фрео;{ и re.iiiii nepeiicpbiвают, о.ч;1 щенны1 1 тигель иореносят г. iwiMepy охлаждения, где создают разря |.:ен1;е норя; ка мм рт. ст. Со.держаг ие npaiiMecei « оч;нщеинО|М .изделии ;контрол11руют спектраль}1ым анализом. Peзyль aт.l анализа приведены iB табЛИЦе. 3 Из таблицы видно, что содержание ир:к:месен в Пробах, отобранных 1нз сбъелга ;н с поверхности излелшя, очищенного иредла-гаеМЫ1М опособо.м,В 10--100раз , чем в нробах, .взятых ит изделий, .изготовленных из очипнеилых но известном способу загото-во к. КолИ-чесгвО хлора п фтора в оч и:нденно1М «о нредлагаемому способу изделии снижено ло |БеличиНЫ менее 1 1ве1 %. 4 Предмет изобретения ОнОсскЗ очистки графитовых изделий для 1НоЛУП|ров ОДни;к-0 Вой lexHHiKiH путем нагре-за:,ия в с.реде инертн€го газа, а затем в смеси с галоидсоде|)}каи1,им газом с иоследхюнди. охлаждением, отличающийся тем, что, с целью повышен;ия качества оЧИстки, охлажление в .