УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ НАДЕЖНОСТИ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение относится к области электронной техники и может применяться при производстве полупроводниковых приборов для контроля их качества.

Известны устройства контроля надежности омического контакта полупроводниковых приборов, содержащие источник постоянного напряжения, блок обнаружения кратковременных замыканий и обрывов, выполненный в виде последовательно соединенных между собой импульсного усилителя, триггера и исполнительного органа. Блок обнаружения постоянных коротких замыканий и обрывов выполнен по схеме моста, к одной диагонали которого подключен источник постоянного напряжения, к другой исполнительное устройство. В одно из плеч моста подключен контролируемый прибор. Недостатком известных устройств является то, что контроль надежности омического контакта производится только в одной точке вольт-амперной характеристики прибора, задаваемой источником постоянного на1пряжения.

Цель изобретения - повысить точность измеревий.

Поставленная цель достигается тем, что блок обнаружения кратковременных и постоянных обрывов и кратковременных коротких замыканий выполнен в виде следяндей системы, состоящей из последовательно соединенных элемента сравнения, усилителя, суммирующего устройства, соединенного через форсирующее устройство и непосредственно с двумя входами нуль-органа, выход которого

соединен с логической схемой «ИЛП.

Блок-схема описываемого устройства предста1влена на чертеже.

Устройство содерл ит генератор пилообразного тока 1, к выходу которого подключен

контролируемы прибор 2, блок обнаружения кратковременных и постоянных обрывов и кратковременных коротких замыканий 3, состоящий из элемента сравнения 4. усилителя 5, суммирующего устройства 6, фильтра нижних частот 7, форсирующего устройства 8 и

нуль-органа 9; блок обнаружения постоянных

коротких замыканий 10. логическую схему

«ИЛИ 11 и исполнительное устройство 12.

Описываемое устройство работает следующим образом.

При пропускании в прямом направлении импульса пилообразного тока через исследуемый прибор на нем формируется импульс напряжения, изображающий рабочий участок

вольт-амперной характеристики р-п перехода прибора. При наличии нарущений омического контакта наблюдаются высокочастотные деформапии вольт-амперной характеристики. Импульс напряжения, возникающий на контролируемом прибора при пропускании через