СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОРПУСОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1974 года по МПК H01L23/06 

1

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов.

Известные способы изготовления металлокварцевых конструкций корпусов полупроводниковых приборов заключаются в последовательном нанесении на кварц двух металлических слоев, например, из молибдена и золота с последующей пайкой; либо в металлизации кварца гидридом титана с последующим восстановлением титана в вакууме и пайкой индием или оловом. При этом наличие в спаях больших остаточных напряжений приводит к потере вакуумной плотности и разрущению спаев при эксплуатации в различных климатических условиях.

Предлагаемый способ получения металлокварцевых корпусов полупроводниковых приборов, обладающих малой паразитной емкостью и высокой механической прочностью, заключается в том, что на поверхность кварцевых конструктивных элементов наносят слой смеси из трехокиси молибдена и окиси никеля, например, в соотношении 5:1, а затем припаивают к нему металлические детали мягким припоем.

Кварцевые конструктивные элементы предварительно обрабатывают в 6%-ном растворе перекиси водорода в течение 20-30 мин и промывают в проточной деионизованной воде, имеющей уд. сонротивление 10 Мом. После

этого обрабатывают кварцевые элементы в разбавленной плавиковой кислоте для удаления поверхностного слоя кварца и придания ему шероховатости н промывают в деионизованной воде.

На поверхность (торцовую или боковую в зависимости от вида корпуса) кварцевых элементов любьпг способом наносят слой водной суспензии из порошков трехокиси молибдена и окиси никеля, например, толщипой от 5 до 60 мкм (весовое соотношение порошков равно 5:1).

Нанесенный на поверхность кварца слой суспензии сущат при компатпой температуре и затем восстанавливают в атмосфере водорода при температуре 900°С в течение 10- 15 мин.

Соединение металлических деталей из ковара или меди с кварцевыми элементами нроводится путем пайки в среде водорода. В качестве припоя может быть использовап припой тина ПСр 2,5.

Скорость охлаждения металлокварцевых композиций после пайки 3-5 С/мин.

25

Предмет изобретения

Способ изготовления корпусов полупроводниковых приборов путем пайки в водороде 30 кварцевых ко 1структивных элементов с ме34

таллическими, отличающийся тем, что, сментов предварительно наносят слой трехокицелью повышения герметичности корпуса, наси молибдена и окиси никеля в соотношении

поверхность кварцевых конструктивных эле-5 : 1 толшиной 5-60 мкм.

423205