СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ОКИСИ АЛЮМИНИЯ Советский патент 1974 года по МПК C23C16/18 

1

Изобретение относится к получению окисиых иленок пиролитическим разложением элементоорганических соединений, в частности к получению пленок из окиси алюминия.

Известен способ получения пленок окиси алюминия пиролитическим разложением кислородсодержащих элементоорганических соединений алюминия, например алкоголятов, фенолятов алюминия и др.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в качестве соединений, подвергаемых пиролитическому разложению, используют алкилалюмоксаны и их производные. Применение алкилалюмоксанов и их производных позволяет получать пленки окиси алюминия с более высокими электрофизическими свойствами. В качестве производных алкилалюмоксана могут применяться комплексные соединения алкилалюмоксана с эфирами и аминами.

Нанесение пленки окиси алюминия осуществляют на нагретую до 250-700°С поверхность изделия, помещенного в герметичный реактор, через который продувают газовую смесь, содержащую инертный газ и пары алкилалюмоксана или его производного. Для полноты пиролиза в газовую смесь вводят дозированное количество кислородсодержащего газа, например кислорода. Полученные пленки окиси алюминия обладают высокими электрофизическими свойствами и могут быть использованы при изготовлении полупроводниковых приборов.

Пример 1. Для получения пленок окиси алюминия пиролизу подвергают тетраизобутилалюмоксан (С4Н9)2-А1-О-А1-(CiH9)2 в установке с кварцевым реактором при инфракрасном нагреве подложек из кремния или германия пир типов. Перед нанесением

пленки подложку обрабатывают общепринятыми методами с целью удаления следов загрязнений и дефектного поверхностного слоя. После загрузки подложки реактор эвакуируется до остаточного давления 5- Ю мм рт. ст.,

а затем продувается аргоном в течение 10 мпн.

Осаждение пленки проводят при следующем режиме:

Температура нагрева под- 4бО°С

ложки

Концентрация тетраизобу- 0.02 об. тилалюмоксапа в газовой смеси Концентрация кислорода в 2 об. %

газовой смеси

Газ - носительАргон

Линейная скорость протока 6 см/сек

газовой смеси через реакторВремя выдержки подложки 60 мин в реакторе В результате обработки на повер подложек получаются хорошо сцеплен основой аморфные пленки окиси алю ТОЛЩИНОЙ 2800А. электроф Пленки имеют следующие ские характеристики: (4-7)-108 в Диэлектрическая прочность (2-4) о Удельное сопротивление9 20-30 см-2 Диэлектрическая постояннаяКоличество дефектов, выявленных электрографическим методом (напряжение 30 в, время 5 мин) Пример 2. Для получения пленок алюминия пиролизу подвергают эфира раизобутилалюмоксана (С4Н9) 2-А1-О-А1- (С4Н9) 2 (С2Н5) при тех же исходных условиях, что и в мере 1. Осаждение пленки проводят при сл щем режиме: Температура нагрева под- 370°С ложки 0,029 об Концентрация эфирата тетраизобутилалюмоксанагазовой смеси Концентрация кислорода в 7 об. % газовой смеси Газ - носительАзот Линейная скорость протока 4 см/сек газовой смеси через реакторВремя выдержки подложки 60 мин в реакторе В результате обработки на поверхности подложек получаются хорощо сцепленные с основой аморфные пленки окиси алюминия, толщиной 2500А. Пленки имеют следующие электрофизические характеристики: Диэлектрическая проч(3-5). 106 в/см ность Удельное сопротивле(1-2)-101бом-см ние Диэлектрическая но8-9стоянная Количество дефектов, 40-50 см-2 выявленных электрографическим методом Предмет изобретения 1.Способ получения диэлектрических пленок окиси алюминия пиролитическим разложением кислородсодержащих элементоорганических соединений алюминия, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических свойств диэлектрических пленок, пиролитическому разложению подвергают соединения, выбираемые из группы: алкилалюмоксаны и их производные. 2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве производного алкилалюмоксана используют его комплексное соединение с амином. 3.Способ по п. 1, отличающийся тем, то в качестве производного алкилалюмоксаа используют его комплексное соединение с фиром.