СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАССИВНОГО ФОТОКАТОДА Советский патент 1974 года по МПК H01J9/12 H01J40/06 

1

Изобретение относится к электровакуумной технике, а именно к технологии изготовления фотоэлектронных приборов.

Известные способы изготовления массивных серебряно-кислородно-цезиевых фотокатодов, включающие операции химического нанесения серебра, его окисления и активации цезием, не обеспечивают получения высокой чувствительности, а порог фотоэффекта при этом ограничен длинами волн 1100-1200 нм.

Предлагаемый способ позволяет повысить чувствительность и сдвинуть спектральную характеристику фотокатода в длинноволновую область благодаря обработке перед активировкой цезием в парах калия.

Предлагаемый способ применительно к фотоэлементу заключается в следующем.

Серебро наносят химическим путем и окисляют до сине-голубого цвета; окисленный слой обрабатывают в парах калия до достижения максимума чувствительности фотокатода (температура обработки 10-200°С); ампулу с калием отпаивают и избытки калия отгоняют при 200-220°С; при 190-200°С производят

активацию цезием до достижения черноватобархатного с переходом в коричневый цвет; при 200-230°С отгоняют избытки цезия, остывший фотокатод сенсибилизируется до максимальной чувствительности в инфракрасной области спектра.

Экспериментальная проверка способа показала, что он обеспечивает получение интегральной чувствительности массивного фотокатода до 45 мка/лм, квантового выхода на 1100 мм до 0,16% и порога фотоэффекта до 1400 нм.

Предмет изобретения

Сиособ изготовления массивного фотокатода, включающий панесение химическим способом серебра на стеклянную подложку, окисление серебра и активацию в парах цезия, о тл и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью увеличения чувствительности фотокатода и сдвига спектральной характеристики в длинноволновую область, перед активацией в парах цезия производят обработку окисленного слоя серебра в парах калия.