Способ изготовления сурьмянощелочного фотокатода Советский патент 1976 года по МПК H01J39/06 

1

Изобретение относится к изготовлению фотоэлектронных приборов, а именно к способам изготовления бищелочных фотокатодов.

Известен способ изготовления бищелочного сурьмяно-калиево-цезиевого фотокатода 1, включающий напыление слоя сурьмы, обработку этого слоя в парах калия, затем повторное напыление сурьмы до падения фототока на 60%, обработку слоя в парах цезия до уменьшения фототока на 60-80% после прохождения максимума с последующей отгонкой избытков щелочных металлов.

Известен также способ изготовления сурьмяно-щелочного фотокатода 2, включающий обработку слоя сурьмы в парах калия до получения максимума фототока, его прогрев, обработку в парах цезия и сенсибилизацию кислородом.

Недостаток этих способов изготовления фотокатода - невозможность получения высокой квантовой эффективности в синей области спектра.

Целью изобретения является увеличение квантовой эффективности в синей области спектра.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу после обработки слоя в парах цезия производят повторную обработку в парах калия при температуре 200-220°С до достижения Максимума фототока.

Способ изготовления заключается в следующем.

Напыляется слой сурьмы до 30% потери прозрачности в парах калия при темпе ратуре 180-200°С до достижения максимума фототока. Полученный фоточувствительный, слой прогревается при температуре 260-280°С до получения .максимума фототока, активируется в парах цезия при температуре 150-160°С, затем активируется в парах калия при температуре 200-220°С до получения максимума фототока. После этого производится отгопка избыточных количеств цезия и калия при температуре 200-230°С.

Формирование фотокатода заканчивается сенсибилизацией кислородом до увеличения чувствительности в синей области спектра в 1,5-2 раза.

Полученные таким способом фотокатоды обладают квантовой эффективностью в области 420+10 М.К, равной 24-27%.

Формула изобретения

Способ изготовления сурьмяно-щелочного фотокатода, включающий обработку слоя сурьмы в парах калия до получения максимума фототока, его прогрев, обработку в парах цезия и сенсибилизацию кислородом, о т л и3чающийся- тем, что, с целью увеличения квантовой эффективности в синей области спектра, после обработки в парах цезия производят повторную обработку в парах калия при температуре 200-220°С до достижения5 максимума фототока. 4 Источ ники информации, принятые во внимание при экспертизе. 1. Фотоэмиссиониые материалы. М., «Энергия, 1973, стр. 66. 2. Авт. св. СССР № 2в3428, кл. Н 01 J 39/06, 1968.