Репродукционный объектив Советский патент 1974 года по МПК G02B11/34 

1

Изобретение относится к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано, например, в установках проекционной фотолитографии при производстве микроэлектрониь1х приборов.

Известны репродукционные объективы, содержащие двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму.

Предложенный объектив отличается от известного тем, что он снабжен двумя отрицательными апланатическими менисками, обращенными выпуклостями к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной линзой.

Это позволяет увеличить поле безаберрациопного изображения.

Па чертеже показана схема репродукционного объектива.

Объектив состоит из аплапатической линзы 1, двухсклеенноГо компонента 2, одиночной положительной линзы 3, второй апланатической линзы 4 и апертурной диафратмьТ 5. Паличие аплан-атических линз 1и4 позволяет полиостью исправить или в случае необходимости даже переисправить кривизну изображения и астигматизма свойственные объективу, состоящему из двухсклеенногокомпонента 2 и одиночной положительной линзы 3.

Такие особенности конструкции позволяют получить объектив упрощенной конструкции

с улучшенной коррекцией аберраций, в то время как известные репродукционные объективы имеют либо простую конструкцию и малое поле безаберрационного изображения, либо с.чожную конструкцию, содержащую больщое

число линз.

Предлагаемый объектив может быть использован для проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных приборов с минимальными элементами порядка 3-

4 мкм.

Предмет изобретения

Репродукционный объектив, содержащий двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму, отличающийся тем, что, с целью увеличения поля безаберрационного изображения, он снабжен двумя отрицательными апланатическими менисками, обращенными выпуклостями к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной линзой.

ni

Шт