Контактный щуп для контроля микроканальных электронных умножителей Советский патент 1974 года по МПК G01N27/00 G01R27/00 

I

Изобретение может быть использовано в отраслях промышленности, связанных с получением тонких пленок, и предназначено для контроля контактным способом электрических параметров пленочных элементов, в частности контроля величины электросопротивления пленочных проводящих покрытий на торцах микроканальных электронных умножителей (МКУ). Обычно толщина стенок микроканалов составляет несколько десятков микрон, и поэтому торцовые поверхности МКУ имеют дискретную структуру с больщим числом контактных площадок и обладают весьма малой механической прочностью. Экспресс-контроль величины электросопротивления проводящей пленки МКУ между двумя произвольно выбранными точками поверхности торца проводится контактным способом с использованием омметров типа ТТ-3, Ц-435.

Известные конструкции контактных щупов (называемых также щтеккерами), входящих в комплект таких приборов, представляют собой латунный токопроводящий стержень, одним концом которого касаются объекта, подлежащего контролю, а к другому подсоединяют провод измерительного прибора. Высокая твердость стандартных контактных .щупов при контроле МКУ является недостатком, так как даже при аккуратном обраще2

НИИ невозможно избежать повреждений торцовой поверхности (царапины пленки, сколы части поверхности). Целью изобретения является устранение

повреждений изделий МКУ при экспрессконтроле.

Поставленная цель достигается использованием контактного щупа специальной конструкции, в котором токопроводящий стержень имеет камеру с запасом пластичпого проводящего материала, например индия, и устройство для его выжимания.

На чертеже изображен предлагаемый контактный щуп.

В алюминиевом корпусе 1 контактного щупа размещены: толкатель 2, пуансон 3, стальное сопло 4, гайка 5, штифты 6. В камере стержня имеется материал-наполнитель, например индий, 7. Щуп покрыт оболочкой 8

из электроизоляционного материала.

Щуп действует следующим образом. В камеру между пуансоном 3 и соплом 4 помещается запас материала-наполнителя 7. Пуансон 3, приводимый в движение посредством толкателя 2, с которым он соединен подвижнр с помощью трех штифтов 6, воздействует на наполнитель, а последний проталки вается через отверстие сопла 4 нарулсу. Толкатель 2 перемещается в корпусе 1 по резьбовому сочленению, приводится во вращение

с помощью сменной рукоятки, ключа или какого-либо иного приспособления (например, плоскогубцев), для чего на части толкателя, выступающей из корпуса, сделаны соответствующие насечки. Резьбовое отверстие на свободном торце толкателя служит для закрепления подводящего провода.

Деформированная часть индиевого наполнителя легко удаляется на уровне отверстия сопла режущим инструментом (скальпелем, лезвием бритвы и т. п.).

Новый прижимной элемент (диаметр 1 мм

формируется за 0,3-0,5

и длина 1,5-2 мм) оборота толкателя.

Предмет изобретения

Контактный щуп для контроля микроканальных электронных умножителей, содерл ащий токопроводящий стержень, электроизоляционную ручку, отличающийся тем, что, с целью осуществления контроля без разрушения умножителей, стержень имеет камеру с запасом пластичного проводящего материала, например индия, и устройство для его выжимания.

I-T