СПОСОБ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ГЕНЕРИРОВАНИЯ РИСУНКОВ ТОПОЛОГИИ МИКРОПРИБОРОВ И МИКРОСХЕМ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/268 

1

Изобретение относится к технике изготовления полупроводниковых микроприборОБ и микросхем.

Известен способ электронно-лучевого генерирования изображений, в соответствии с которым топологический рисунок набирается из элементов, заполняемых растровой разверткой отклоняемого одиночного электронного пучка, причем размер кадра или размер элемента рисунка определяется возможной -величиной отклонения пучка, а необходимое расположение элементов рисунка (кадров) достигается за счет сканирования или перемещения в определенной позиции экспонируемой подложки от носительно электронно-оптической оси проекционной системы.

Этот способ малопроизводителен, поэтому почти не используется в промышленном производстве микроэлектронных изделий, где наиболее освоенными являются оптические способы изготовления топологических рисунков, согласно которым наопределенных этапах процесса изготовляют промежуточные фотошаблоны, необходимые для уменьшения рисунка и механической мультипликации на фотоповторителях.

Цель изобретения - сокращение времени изготовления мультиплицированных фотошаблонов за счет устранения изготовления промежуточных фотошаблонов и обеспечения

реализации микронных и субмикронных элементов топологии непосредственно на полупроводниковой подложке.

Согласно изобретению поставленная цель 5 достигается путем экспонирования электронно-чувствительного слоя системой неотклоняемых электронных пучков, создаваемых короткофокусными электронно-оптическими системами. Растровая развертка лучей по поверх10 ности экспонируемого слоя осуществляется за счет перемещения подложки, закрепленной на координатном столе, совершающем синусоидальные колебания вдоль одного из направлений и шаговые перемещения в ортогональ15 ном направлении с дискретностью, соответствующей ширине электронного пятна. При этом мгновенное положение стола контролируется по индикации вторичной эмиссии электронов, возникающей при сканировании одного или 20 нескольких электронных пучков по растровым знакам, расположенным на каретках стола.

Способ поясняется чертежом, на котором показана схема многолучевой вакуумной ус25 тановки.

В качестве эмиттеров I могут служить

авто-, термо- или фотоэлектронные катоды,

расположенные в узлах ортогональной сетки

с шагом, соответствующим размеру микоо30 схемы.