Способ изготовления оксидного катода Советский патент 1974 года по МПК H01J9/04 

1

В настоящее время в катодной технике для изготовления керна оксидного катода наиболее широко применяются сплавы никеля с малым содержанием активного металла (стронция, магния, кальция и др.), не образующего с оксидным покрытием переходных слоев с больщим сопротивлением. Идеальной присадкой к керну оксидного катода мог бы служить барий. Однако барий не растворяется в никеле и не образует с ним интерметаллических соединений. Поэтому изготовить гомогенный сплав никеля с барием с помощью металлургических методов, обычно используемых для изготовления катодных сплавов, не представляется возможным.

Предлагается для введения активатора в керн катода использовать ионное легирование, обеспечивающее атомарное распределение легирующего элемента в мищени независимо от особеииостей их химического взаимодействия. Этот способ позволяет равномерно распределить но поверхности керна и на вполне определенной глубине точно дозированное количество активатора, который вводится непосредственно перед нанесением эмиссионного слоя после проведения всех необходимых механических, химических и термических операций.

С помощью электромагнитного сепаратора производилось легирование барием или стронцием кернов катодов, изготовленных из электролитического никеля. Энергия ионов составляла 20-30 кэв., доза легирования 1 -100 мкул/см2. На керны наносилось оксидное покрытие стандартного состава. Испытания показали, что катоды, легированные барием, активируются в 10-15 раз быстрее и рабочая температура у них приблизительно на 100° ниже, чем у катодов на керне из электролитического никеля.

15

Предмет изобретения

Снособ изготовления оксидного катода, 20 керн которого содержит активирующую присадку, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности распределения присадки в керне и повышения точности дозирования вводимого количества присадки,ее вводят 25 путем бомбардировки керна катода ионами материала присадки.