Рентгеновская приставка к электронному микроскопу Советский патент 1974 года по МПК G01N23/20 H01J37/26 

Изобретение отмоситея к блокам электрожяо-оптических приборов например к электроммьш микроскопаи, 1 которых дхя исследования объектов используется электронный зонд.

Известны рентгеновские приставки к электронному иикроанализатору,предназначенные для определения параметров решетки, которые состоят из точечного источника, расходящихся рентгеновских лучей, плоской фотопленки и систеиы управления. Эти устройства п|«иеняются только для одного вида исследований: либо на просвет, либо на отражение.

С помощью известных устройств невозможно исследовать кристаллы низших сингоний и деформированные кристаллы, посколыдг при этом нужно знать величину углов между определенными кристаллографическими направлениями исследуемого моно кристалла.

Цель изобретения - повышение точности и И1фор1ативнос1 И измерений. Цель достигается благодаря применению микрофотокамеры, позволяющей располагать фотокассеты по . обе стороны от образца и проводить съемки одновременно на просвет и па отоаженив .

Точечный источник рентгеновских лучей установлен на уровне эмульсии фотопленки при съеме на отражение, в результате повышается точность измерений и обеспечивается возможность исследования деформированных кристаллов и кристаллов низших сингоний.

На фиг.Х показана микрофотокамера; на фиг.2-предложенная рентгеновская приставка к электронному микроскопу.

Рентгеновская приставка содержит юстирозочный экран Г,предназна(ченный для центровк1{|И фо|сусировкн

электронного пучка (зонда) аиод 2; формирующий расходящийся пучок рентгеновских лучей,1ерхнюда фотокассеодг 3 для получения снииков в расходящемся пучке на отражение; нижнюю фотокассету 4 для получения снимков на просвет, в котором закрепляется исследуемый объект 6; камеру шлюзования 7, в которой размещают микрофотокамеру 8 при замере фотокаосет; клапан откачки 9 камеры, шлюзования 7; направляющие) ; 10, по которым движется запирающее-i устройство с микрофотокамерой; втулку II для передачи вращения от маховика к резьбовой втулке 12; механизм центровки 13; винт 14 для перемещения микрофотокамеры и запирающего пйюзового устройства; окна 15 для наблюдения за микрофотокалшрои .

Анод 2 служит точечным .источником расходящегося пучка рентгеновских лучей,размещается в микрофотокаглере на уровне эмульсии фотопленки верхней кассеты 3, в которой для этого выполшено отверстие. Устройство Для закрепления анрДа р беспечивает быстрый подаем его при вводе и выводе кассеты

Внутри микрофотокамбры помещается исследуемый объект к а ;вр;ржателе 5, с помощью которого можно изменять расстояние между анод(:щ и объектом. Под об рктом б ра31« щена другая кассета i используемая для съемки на npocBeTi

Микрофотокамера 8 крепится «орцом к поршню запирающего устройства который перемещается по направжющим 10 с помощью механизма центровки 13. Направляющие снаблсены двумя фиксирующими пазами А и Б для новки микрофотокамеры относительно электропггого пучка. Фиксация в точ ке Б осуществляется в режиме центровки, когда на ось пучка выводится юстировочный экран I, Фиксация в точке А соответствует рабочему положению микрофотокамеры,когда сфокусированный пучок попадает la анод 2 и образуется расходящийся пучок рентгеновских лучей.

Расходящийся пучок рентгенов-. ских лучей проходит через образец б, причем лучи, падающие ка криста ллографическне плоскости под углом

Вульфа-Брагга, отраттоз. Дифрагированные такйи обрГзом лучи образуют прямой круговой конус, который при пересечении с фотопленкои дает эллиПе. Так как каждой о тражающей сйс теме плоско с тей ио . р-оотве т

вует свой эллипс, то на фотопленке Получают совокупность эллипсов, которая представляет собой рентгенограмму в расходящемся рентгеновскон пучке (на отражение или :на просвет):;

; Конструкция микроФотокамеры позволяет проводить одновременные iисследования жа просвет и на отра жение, определять не только napa-i метры решетки, но и отдельные межплоскостные расстояния (благодаря чему можно вычислить параметры iрешеток монокристаллов низших сингоний), анизотропные, т.е. неоднородные деформации в образце, проводить рентгеновскую микроскопию образцов и другие виды Исследовании,

За счет расположения юстиро10ЧНОГО экрана в плоскости анода достигается высокая точность фокусировки электронного пучка жа амоде,что увеличивает эффективность исследований,

П р е д и е т изобрет е н и я

Г, Рентгеновская гфиставка ,к электронному микроскопу, содержащая мнкрсмротокамеру с точечным

источником рентгеновских лучей и каасетой е фотопленкой, расположенной под держателем объекта, механизмы шлюзования и центровки, о т л и ч а ю эд а я ё я тем,

, с целью повышения точности и ; инФормативжости измерений, мик|k)фотокамера установлена е возможностью перемещежия по направляющим с двуш фиксирущими пазами

и снабжена дополнительной кассетой, расположенной жад держателем объекта, с отверстием, в котором на уровне фотоэмульеии фотопленки размещен нсточжик рентгеновских

лучей,

2. лшртавка по ц,1 отличающаяся

механизм центровки стбжен

°° ™

3. Приставка по Ш.1 и 2. Р. .т, л .и ч а ю щ а я тета, что

расстояние мему источником реет-;пеновских лучей и центром юстировочногоэкрана равно равстояни между фиксиру1}|р и пазаыап