Устройство для ориентирования кристаллографической плоскости монокристалла Советский патент 1974 года по МПК H01L7/68 

Устройство относится к оборудованию полупроводникового производсгва и служит для ориентированной разки монокристаллов. Оризнтация осущвствляэтся рентгеновским мотодом по какой-либо выбранной крисгаллографичзской плоскости.

Известны устройства для ориэнтации монокристаллов,например рзнтгвновский гониометр с приставкой, которая состоит из обоймы и патрона для закрепления монокристалла. Приставка устанавливается на стол гониометра с помощью базовых {ярифтов.

Для определения положения кристаллографической плоскости относительно базовых штифтов (базовой плоскости) монокристалл поворачивается вокрур двух взаиынопзрп8ндикулярных осзй: вертикальной оси стола гониометра и горизонтальной оси приставки. После достижения максимума отражения рентгеновских лучей в счетчик монокристалл фиксируется. Считываются показания гониометра и вычисляется угол между и орзнтируемой кристаллографической плоскости.

Приставка о монокристаллом переносится и устанавливается с помощью базовых штифтов на поворотный стол станка для ориентированной резки. Для совмещения плоскости реза инструмента с найденной плоскостью монокристалла стол станка поворачивает0ся на расчитанный угол.

Цель изобретения является повышение точности ориентированного реза монокристалла и упрощение процесса ориентирования кристаллографи5ческой плоскости относительно базовых штифтов. Это достигается исключением операция считывания показаний по лимбу гониометра и воспроизведения расчетного угла на

0 столе станка для ори-ентированной рззки.

На фиг. I схематически изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - сзчэние по базовому штифту. Для крепления ыонокристалла I служит naipOH 2, помещэнный в обойму 3. Патрон МОЖ8Г свободно вращать ся вокруг горизонгальной оси. Привод патрона осущзсгвляэтся посрздством двигателя 4 чэрэз рздуктор 5, Обойма связана с пластиной Ь шарнирно с помощью оси 7. Пластина, ;обойма, патрон, двигатель и редуктор составляют съемную часть приспрсоблания, прэдназначэнную для установки на станок ориентированной резки. Основание 8, продольные салазки 9, жестко связанные с ними поперечные салазки 10 с винтом подачи II и поперечная направляющая 12 представляют собой механизм, позволяющий только плоско-параллельное перемещение поперечной направляющей. Пластина зафиксирована на поперечной направляющей базовыми штиф тами 13, входящими в ее .базовые отверстия, и закреплена с помощью откидных винтов 14. На основании 8 имеется штырь 15 ось которого совпадает с вертикальной осью вращения монокристалла относительно рентгеновского счетчика 16, куда попадает пучок рентгеновских лучей от мрнохроматора 17. Штырь с помощью жесткой тг.ги 18, длина которой регулируется гайками 19, связан с обоймой 3. Тяга 18 при перемещении поперечной направляющей 12 сообща3т поворот обойме с монокристаллом относительно базовых отверстий пластины и одновременно удерживает выбранную точку монокрис талла на взртикаллнии оси вращения, Для ориентации какой-либо кристаллической плоскости монокристалла отнооитзльно базовых штифтов 13 рентгеновский счетчик 16 устанавливается под углом Я0ДЛЯ данной плос кости ( Брэгговский угол) и моно кристаллу сообщается два вращения: от двиго1: ля 4 46063 редкутор 5 вок руг горизонтальной оси и от перемещения попзрачной направляющей 12 , посред сгвом вини;а Фягй 18вокруг вертикальной оси. После достижения максимальной интенсивности отражения рентгеновских лучей в счетчик 16 монокристалл фиксируется. Для этого патрон 2 стопорится в обойме 3, а обойма фиксируется относительно пластины 6. Так как базовые штифты 13 и пластина 6 сохраняют свою ориентацию во время поворота монокристалла вокруг вертикальной оси, искомая плоскость монокристалла устанавливается параллельно плоскости базовых штифтов (базовой плоскости). Пластина освобождается от откидных винтов 14, съемная часть приснособлешщ переносится на станок для ориентированной резки и устанавливается на базовые штифты стола, плоскость расположения которых всегда параллельна плоскости рзза инструмента. При этом искомая кристаллографическая плоскость монокристалла совмещается с плоскостью рзза. ИРЕД1;1ЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Устройство для ориентирования кристаллографической плоскости монокристалла относительно базовых элементов с помощью источника и счетчика рентгеновского излучения, содержащее основание и съзмную часть, включающую обойму с патроном для закрепления монокристалла и баэовыгз злэменты, например штифты, отйичавдзеся тем, что, с целью повышения точности ориентирования кристаллографической плоскости, между обоймой и основанием помещена пластина, шарнирно создиненнвя с обоймой и зафиксировангтая с помищью базовых элементов на механизме плоскопараллельного движения, например перекрещивающихся направляющих, при этом обойма связана с закрепленным на основании штырем, ось которого совпадает с вертикальной осью вращения ыонокрйо.талла.