Устройство для оптического фотографирования Советский патент 1974 года по МПК G03F7/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО ФОТОГРАФИ) ВАНИЯ

1

Изобретсше относится к полупровоЬшковой .технике и может бьпъ использовано для печати изображений на полупроводниковых, м.еталлических и материалах.

Известно устройство для оптического фо- тографированип, содержащее проекционную систему,источник активного иэлуче1гая, ме- ханиэм перемещения пласачшы в плоскости, перпендикулярной к оси объектива, и механизм фиксации положения рабочей плоскости пластины в плоскости экспозиции.

Предлагаемое устройство Тличается от «эвестного тем, что держатель экспонируе мой пластины выполнен, в виде скольэящв1Х) столика, а механизм фиксации рабочей гла стины в плоскости ЭКСПОЗИШ1И - в виде оправы с бесконтактным индикатором, причем оправа снабжена устройством смещения параллельно плоскости пластины,

Это обеспечивает возможность работы аа пластинах различных размеров и повысить: точность совмошения. ,

На фиг, 1 и 2 изображено устройство для оптического фотографирования, общий вид.

Устройство содержит объективы 1 и , (Держатель 3 шабло)ш 4} держатель 5 пласте |Ны 6j источник 7 активного излучеш1Я| све та1)ильтр 8; микроскоп 9 для наблюдения процесса совмещения.

Совмещение производится в плоскости пластины. Микроскоп 9 установлен таким образом, что оси его объективов 1О распо- ложены параллельно плоскости пластины, а ; предметная плоскость микроскопа посредст вом двух прозрачных зеркал 11, располо- ;женных над; периферийными зонами пластины под углом 45 , совмещена с |шюскостью : экспонируемой пластины. Это позволило, во :Первых, исключить искажения рису1жа при совмещении и улучзиить условия освешенноо4н изображения, во-вторых, исключить необхо Ьимость применения двух источников света, IT. е, упростить конструкцию. i В предлагаемом устройстве как при СОБ 1мещении, так и при экспонировании нсполь- эукт один и тот же стационарный источник света 7,

Диафрагма 12 н светофильтры 8, обвспв чивающие монохроматический свет требуемой

длины волны:при экспозиции и совмешениН| расположены в промежутке между объективами. Наличие диафрагмы, необходимого диаметра между объективами улучшает изображение,j

Препятствием для использования серийньь фотографических объективов- в проекционной фотолитографии является несовпадение плоск стей наилучшего изображения в синей обла- сти спектра, в которой объектив работает при экспонировании и зеленой области спектра, в которой объектив работает при совмещении.

В предлагаемом устройстве совпадение этих плоскостейизображения при строгом постоянстве увеличения 1-х достигаетс я, пу- тем одновременного введения в пространство между шаблоном и первътм объективом и в пространство между вторым объективом и.. экспонируемой пластиной двух одинаковых . плрскопараллельных компенсационный пласти причем пластины 13 и 14, используемые при совмещении, имеют толщину, от1гачную от толщины пластин 15 и 16,используемых при экспонировании :. Кроме того, использование компенсационных пластин позволяет п. широкополосные светофильтры вместо инте{)(})еренцнонны1с (синего и зеленого), что сш1жает эффект интерферевдии на качество изображения, наб/цодаемого в микроскоп.

Дер.латель 5 пластины въшолнен в виде скользящего столика с рабочей поверхностью высокой плоскостности. Перпендикулярно к рабочей плоскости столика через его крестовину подведен канал, соединенный с откачной системой. Благодаря этому обеспечивается необходимая плоскостность пластин, укрепляемых на столике. Для фиксации рабочей плоскости в плоскости экспозиции использоваиы смещающиеся параллельно плоскости пластины оправы с бесконтактным иидпкатором 17 в вяде сопла пневмоэлектрокОнтактного датчика.

Наличие бесконтактного средства фиксации пластины в плоскости гкспозицпи позволяет исключить вероятность повреждения чувствительного слоя и обеспечить фотографирование на пластинах любого размера и

формы..

Устройство работает следующим образом.

Пластину 6 помещают на столике 5. Включают откачную систему, в результате посредством вакуума пластина укрепляется на столике. К соплу 17 от пневмоэлектроконтактного датчика подводят стабилиэированнъ1Й и очищенный воздух. Столик 5 с пластиной поднимают до тех пор, пока межДу пластиной и соплом не образуется требуемый зазор, расход воздуха фиксируют по показаниям стрелки датчика. Затем оправу с соплом отводят; включают источник света 7; затвор 18 открьгоают; вводят пластины 13 и 15 и светофильтр 8. Наблюдая в микроскоп 9 и перемещая пластину в любом требуемом направлении в плоскости, перпендикулярной к оптической оси, совме -. щают рисунок щаблона с рисунком на пластпйне. Затвор 18 закръЬают. Вместо пластин 13 и 15 и светофильтра. 8 вводят пластины 14 и 16 и светофильтр 19, Снова открьвают затвор и засвечивают фЬточувствительНЪ1Й слой в течение требуемого ,

Предмет изобретения

Устройство для оптического фотографирования, содержащее проекционную систему, источник активного излучения, механизм перемещения пластины в плоскости, перпендикулярной к оси обектива, и механизм фиксации положения рабочей плоскости плас тины в плоскости экспозинии. отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности работы на пластинах различных размеров и повьпиения точности совмещения, держатель экспонируемой пластины выполнен в ыгде скользящего столика, а механизм фиксации рабочей пластины в плоскости экспзиции - в виде оправы с бесконтактным HI дикатором, причем оправа снабжена устройством сме)4еиия параллельно плоскости пластины.

447068

иг.1