Устройство для инфракрасного контроля объектов Советский патент 1974 года по МПК G05B23/02 G01N21/00 

1

Изобретение относится к области автоматики и контрольно-измерительной техники и может быть применено для активного инфракрасного контроля объектов.

Известно устройство для инфракрасного контроля, содержащее вычислительный блок, электронно-вакуумную установку, соединенную с генератором отклоняющих напряжений и через отражающее зеркало и объектив - с блоком съема информации.

Однако надежность и точность этого устройства в определении дефекта контролируемых объектов недостаточны.

Предложенное устройство отличается тем, что в блок съема информации введены две линии задержки и диссектор с двумя отверстиями в диафрагме, один выход которого подключен к первому входу вычислительного блока, второй выход через первую линию задержки - ко второму входу вычислительного блока, а управляющий вход диссектора - к генератору отклоняющих напряжений.

Это позволяет повысить надежность и точность работы устройства.

Схема, предлагаемого устройства изображена на чертеже, где 1 - электронно-вакуумная установка; 2 - электронная пушка; 3 - контролируемый объект; 4 - вакуумная камера; 5 - катушки электромагнитного отклонения; 6 - генератор отклоняющих напряжений;

7 - отражающее зеркало; 8 - объектив; 9 - фотокатод диссектора 10; И-отклоняющая система; 12 и 13 - первая и вторая линия задержки; 14 - диафрагма; 15, 16 - отверстия

в диафрагме; 17 - вычислительный блок. Устройство работает следующим образом. Пучок электронов, генерируемый электронной пушкой 2, направляется на контролируемый объект 3, помещенный в вакуумную камеру 4. Развертка пучка электронов осуществляется с помощью катушек 5 электромагнитного отклонения напряжением, поступающим с выхода генератора 6 отклоняющих напряжений. Бомбардировка пучком электронов элементарного участка исследуемого объекта 3 приводит к тому, что его поверхность нагревается до температуры, определяемой мощностью пучка, скоростью сканирования, а также теплообменом этой зоны, непосредственно

связанным с внутренним строением образца, его дефектами и т. п.

Тепловой поток с поверхности объекта при помощи отражающего зеркала 7, имеющего в центре отверстие для прохождения бомбардирующего пучка электронов, и объектива 8 поступает на чувствительный и ИК-излучению фотокатод 9 диссектора 10. Отклоняющая система 11 под действием того же напряжения развертки, поступающего от генератора 6 отклоняющих напряжений через вторую линию