1
Изобретение относится к измерительной технике.
Известны устройства для бесконтактного измерения концентрации носителей то:ка в полупроводниках, содержащие средства воздействия «а полупроводниковый материал электромагнитным излучением « средства -индикация характера взаимодействия излучения с полупроводииковым материалом.
Такие устройства не отличаются высокой точностью, так ка.к возбуждение геликонной ВОЛ1НЫ производится во всем объеме исследуемого образца и, следовательно, измеряется только среднее значение концентрации носителей тока всего объема образца.
С целью повышения точности измерений в предложенном устройстве образец закреплен на держателе, перемещающемся перпендикулярно оси волновода, открытый конец которого сужен и помещен перпендикулярно плоскостям полюсов электромагнита. Между полюсами находится датчик магнитного поля, соединенный со 1входом двухкоординатного самописца.
Предложенное устройство схематично показано на чертеже.
Исследуемый полупроводниковый образец 1 закреплен на держателе 2, выполненном из немагнитного материала и снабженном шкальным механизмом 3 и винтовым приводом 4.
К плоской поверхности образца 1 прижат суженный конец отрезка прялюугольного волновода 5. Другой конец отрезка волновода со стандартным поперечным сечением подключен к пря.моугольному волноводу 6, который соединен с направленным ответвителем 7. Одна ветвь ответвителя через развязывающий аттенюатор 8 соединена с выходом генератора 9, а другая - с детектором 10, выход которого
через усилитель 11 соединен с У-входом двухкоординатного самописца 12. X - вход самописца 12 соединен с выходом датчика 13 магнитного поля, фиксирующего напряженность магнитного поля при наступлении геликоНПого
резонанса и помещенного между полюсами 14, 15 электромагнита.
При измерении концентрации носителей тока с помощью электромагнита в исследуемом образце 1 создают магнитное поле, а через суженный конец прямоугольного волновода 5 возбуждают геликонную волну в определенном месте образца 1. Изменяя напряженность магнитного поля, добиваются возникновения геликонного резонанса в образце 1, что проявляется в уменьшении сигнала, отраженного от образца, до минимального значения. Отраженный сигнал через ответвитель 7 поступает к детектору 10, где детектируется и подается на вход усилителя И. С выхода усилителя
сигнал поступает на У:1вход двухкоординатно
