Устройство для сборки полупроводниковых приборов Советский патент 1975 года по МПК H01L7/68 

Изобретение отиоеится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано на операциях присоединения полупроводникового кристалла и выводной рамки к подложкам микросхем. Присоединение может осуществляться термокол1прессиоииой сваркой и пайкой с подогревом кристалла и подложки.

Известны устройства для сборки полупроводниковых приборов, обеспечивающие самоустановку собираемых элементов за счет крепления подложки на шаровой опоре, что гарантирует установку подложки относительно инструмента (полупроводникового кристалла) при прижиме подложки к основанию.

Такие устройства содержат рабочую головку с инструментом, механизм прижима подложки, рабочий стол с шаровой опорой для размещения подложки.

С целью самоустановки полупроводникового кристалла с инструментом относительно подложки в предложенном устройстве механизм прижима подложки содержит шарнирную олюру, кинематически связанную через направляющие внутреннего трения с рабочей головкой и выполненную в виде установленной в корпусе втулки с опорным фланцем. .Во втулке закреплен инструмент, в верхней части которого имеется фланец с внутренней сферической поверхностью. Фланец взаимодействует со сферической поверхностью рабочей головки и связан с механизмом нагружерпш инструмента. Центры сферических поверхностен фланца пнструментл ;i рабочей головки совпадают с центром шар шрной опоры механизма нрижнма подложки расположены в плоскости опорного фланца втулки.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

отройСтво ;1ля сброкн полупроводниковых приборов содержит рабочую головку, на корпусе / которой выполнена сфера 2. инструмент 3, имеющий в средней частн фланец 4 со сферической поверхностью 5; механ; зм нагружения инструмента, состоянии из втулки 6, установленной в корпусе / рабочей головки, п сильфона 7, один конец которого закреплен на втулке 6, а другой - на фланце 4 инструмента; .механизм прижима подложк:с шарнирной опорой, связанной с корнусом / рабочей головки через направляюнхую внутреннего трения.

Шарнирная опора выполнена в виде втулки 8 с опорным фланцем 9, ,контакт;|р юи1. по сфере с корпусом 10, с которым также контакт}фует по сфере шайба //. .leждy шайбой // и фланцем 12, закрепленным в верхней части втулки 8, установлена пружина сжатия, 75. Шарнирная опора соединена

с KopijycoM рабочей головки направляющей внутреннего трення, вынолненной в виде двух плоско-параллельных нружин 14 с нлавающим креплением.

Уетройство работает еледующпм образом.

Поеле захвата крнсталла /5 инетру.менГОД1 путем еоздання вакуума рабочая головка, а вмеете с ней механизм поижн.ма нодложки 16 и ннетрумент 3 с механизмом иагружепия опуекаются на подложку (установленную на етоле 17 и совмепденную с наружной выводной рамкой 18 н елоем раснласлониого припоя 19). При соприкосновении с поверхностью подложки 16 опорного фланца 9 втулка 8 поворачивается по сфере отжтсительно корпуса. 10, устанавливается по поверхности подложки 16 и устанавливает тореп инструмента 3 с полупроводников 5:м кристаллом 15 параллельно поверхности иодложки.

При дальнейшем опускании рабочей головки осуществляется прижим подложки 16 (или вдавливание выводной рамки 18 в слой припоя 19 усилием прогиба плоских пружип 14 и прижим ;|олупроводникового кристалла 1о, автоматически устаиови:вп его.ся относительно поверхности подложки 16, с усилием, передаваемым сильфопо.м 7. Поеле окончания присоединения рабочая головка перемепиетПредмет и з о б р е т е п и я

Уетройство для сборки полупроводниковых приборов, содержащее рабочую головку с лтстру.менто,м, механизм иагружсиия и 1етрумента, механизм прижима подложки, рабочий стол для размеп1:е гия подложки, отличающееся тем, что, с целью сам:)устаи;жхп полупроводникового кристалла с инструментом относительно подложки, механизм приж:има подложки содержит шарнирную опору,

кинематически связанную через направляющие внутреннего трения с рабочей головкой н вынолнеиную в виде установленной в корпусе втулКИ с опорпы.м ф.чанцем, внутри которой размещен инструмент с расиоложенпым в его верхней части фланцем с внутренней сферической поверхностью, взаимодействующим со сферической поверхностью рабочей головки ц связанным с механизмом иагружеиия инструмента, прнче.м центры сферических поверхностей флаица инструмеита рабочей головки совпадают с центром шариирпой опоры мехапиз.ма прижима под.южки и расположены в плоскости опорного втулки.

Saw/ум