Устройство для изготовления электронно-оптических приборов Советский патент 1975 года по МПК H01J9/12 H01J9/38 

Изобретение относится к оборудованию для изготовления электронных приборов.

Известно устройство для изготовления электронно-оптических приборов (ЭОП), содержащее вакуумную камеру, расположенные в ней держатели заготовок фотокатодов и ЭОП, снабженные уплотнительными элементами, механизм перемещения ЭОП, подвижно установленные в камере активировочные узлы, снабженные уплотиительными элементами, сопрягаемыми с уплотнительными элементам) держателей заготовок фотокатодов. Это устройство не обеспечивает высокую повторяемость параметров приборов и их надежность.

С целью повыщения качества изготовляемых приборов в предложенном устройстве держатели фотокатодов и сопрягаемых с ними ЭОП установлены на двух, расположенных друг под другом соосных и синхронно вращающихся каруселях, размещенных в отсеках вакуумной камеры, соединенных центральным каналом. На каждом из отсеков, по крайней мере, против одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел и механизм перемещения ЭОП, соосно с которым отсеки вакуумной камеры соединены д о п ол Н и тел ь Н ы м капало м.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство содержит вакуумную камеру 1 с отсеками 2, 3, соединенными между собой

центральным каналом 4. В отсеках размещены карусели 5, 6 с держателями 7, 8 для фотокатодов и ЭОП соответственно. Карусели расположены друг под другом соосно и приводятся в движение синхронно. Держатели 7, 8 снабжены сопрягающимися уплотнительными элементами 9, 10.

На каждом из отсеков 2, 3, по крайней мере, нротив одной из позиций каруселей установлены соответственно активировочный узел 11 с уплотнительным элементом 12 и механизм перемещения 13 ЭОП. Соосно с механизмом перемещения 13 отсекн вакуумной камеры 2, 3 соединены дополнительным каналом 14.

ЭОП и заготовки фотокатодов устанавливают в держатели 7, 8 на каруселях 5, 6 в вакуумной камере 1. После откачки и обезгаживания камеры производится формирование

фотокатодов.

Для этого активировочный узел 11 поднимается и вакуумнонлотно соединяется с держателем 7 фотокатода с помощью уплотнительных элементов 9, 12, затем производится

нанесение компонентов на заготовку фотокатода и активирование его. После выравнивания давления в активировочном узле II и отсеке 2 камеры активировочный узел опускается, т. е. отделяется от держателя фотокатода

7, а карусель поворачивается и переводится, если есть необходимость, к другому активиро