Зеркальный интерферометр сдвига Советский патент 1975 года по МПК G01B9/02 

1

Изобретение относится к измерительной технике, в частности предназначено для исследования деформаций волнового фронта в контролируемом поле.

Известен зеркальный интерферометрg

сдвига, содержащий источник света, полу-розрачное зеркало, сферическое зеркало, установленные в вершинах ромба под 10- 15 к направлению падающего на них светового пучка два плоских и два полу- JQ прозрачных зеркала, одно из которых является входным, и блок регистрации.

Предложенный интерферометр отличается тем, что он снабжен тремя полупрозрачными зеркалами, два из которых ус- 15 тановлены за вхс5дным полупрозрачным зеркалом на расстоянии, равном половине длины стороны ромба, а третье - в точке схода светового пучка отраженного от зеркал так, что все три зеркала ориен- 20 тированы параллельно входному полупрозрачному зеркалу.

Это позволяет увеличить чувствительность измерений в различных направле ниях исследуемого поля. I 25

На чертеже показана схема предлагае-П мого зеркального интерферометра сдвига.

Он состоит из источника света 1, входной щели 2, полупрозрачного зеркала 3, сферического зеркала 4, двух плоских зеркал 5 и 6, пяти полупрозрачных зеркал , 7-11, оптических компенсаторов 12 и 13, приемных частей 14 и 15.

Полупрозрачные зеркала 7 (входное) и 11, зеркала 5 и 6 установлены в вершинах ромба под 10-15 к направлению падаюшего на них светового пучка.

Полупрозрачные зеркала 8-1О ориенти, рованы параллельно входному зеркалу 7.

Интерферометр работает следующим образом. Световой пучок от источника света 1, пройдя входную щель 2, с помощь полупрозрачного зеркала 3 направляется на сферическое зеркало 4, отражается от него, проходит через зеркало 3 и попадает на входное полупрозрачное зеркало 7. После зеркала 7 световые пучки pacnpoci раняются по четырем оптическим ветвям. Первая основная ветвь интерферометра 7-8-5-12-11-34 CD. Вторая основная ;-.1