ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ АБЕРРАЦИЙ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ Советский патент 1970 года по МПК G02B11/08 

Изобретение относится к области оптического приборостроения, где часто возникает необходимость в контроле аберраций оптических систем, например асферических линз, линзовых компенсаторов и т. д.

Известны интерферометры для контроля аберраций оптических систем, содержащие источник монохроматического света, точечную диафрагму, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму ириемпой части, рабочую и эталонную ветви.

С целью повышения точности контроля и расширения дианазона контролируемых аберраций, в рабочей ветви нредложенного интерферометра установлена зеркальная линза, преломляюш,ая поверхность которой вместе с контролируемой системой образует безаберрационное изображение для осевого лучей. Центр кривизны зеркальной поверхности линзы совменден с вершиной пучка лучей, вышедших из контролируемой системы и преломленных зеркальной поверхностью.

На фиг. 1 представлена схема предлагаемого интерферометра для контроля оптических систем в параллельном пучке лучей; на фиг. 2 - схема интерферометра для контроля систем с конечного расстояния.

Лучи света от монохроматического источника 1, пройдя точечную диафрагму 2, установленную в фокусе объектива 5, и сам объектив, пдут далее параллельным пучком. Полупрозрачное зеркало 4 разделяет лучи па два пучка, однн из которых направляется в эталонную ветвь пнтерферометра к плоскому зеркалу 5, после отражения от которого лучи повторяют свой путь в обратном нанравлении. Другой пучок поступает в рабочую ветвь, в которой установлены контролируемая система 6 (например, асферическая линза) и зеркальная лнпза 7. Преломляюнхая сферическая

поверхность Р, линзы 7 обращена к контролируемой ст1стеме, другая сферическая поверхность Р- является зеркальной. Отразившись от сферической поверхности, лучи также повторяют свой путь в обратном направлепин. Лучи, выходящие из рабочей н эталонной ветвей, пнтерферпруют между собой. Для регистрации интерференционной картины служат объектив 8 и диафрагма 9. Интерферометр, схема которого пзобрал :ена на фиг. 2, содержит в отличие от первого разделительный кубик 5 и эталонное сфернческое зеркало 4. Ход лучей в рабочей ветви интерферометра аналогичен ходу лучей па фнг. 1.

Параметры зеркальной линзы н ее пололкепне в рабочей ветви рассчитаны таким образом, что контролируемая система 6 (см. фиг. 1) вместе с нреломляющей сферической поверхностью PI образует безаберрационное

центр кривизны с зеркальной поверхности Яо совмещен с фокусом F системы, образованной контролируемой системой 6 и преломляющей поверхностью PI. Таким образом, в отличие от известных интерферометров в рабочей ветви установлено не зеркало, а зеркальная линза, иередняя иоверхность которой является преломляющей и поэтому влияет па ход лучей. Это и дает возможность расширить диапазон контролируемых аберраций и повысить точность контроля.

Предмет изобретен и я

Интерферометр для контроля аберраций оптических систем, содержащий источник мопохроматического света, точечную диафраг.му, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму приемиой части, рабочую и эталонную ветви, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности контроля н расщцрения диапазона контролируемых аберраций, в рабочей ветви интерферометра установлена зеркальная линза, преломляющая новерхпость которой вместе с контролируемой системой образует безаберрацпониое изображение для осевого пучка лучей, нричем центр кривизны зеркальной поверхности линзы совмещен с верщиной пучка лучей, выщедщих из контролируемой системы и нреломленных зеркальной новерхностью.

2

ГА

..