Электромагнитный способ измерения толщины двухслойных покрытий на ферромагнитной основе Советский патент 1975 года по МПК G01B7/02 

полненип этих условий модуль вносимого напряжения не зависит от электропроводности измеряемых покрытий и определяется лишь расстоянием между датчиком и основой, равным суммарной толщине покрытий.

При измерениях на первой частоте по величине фазы вносимого напряжения определяют сумму произведений толщины каждого слоя на его электропроводность, а на второй частоте по величине модуля вносимого напряжения - сумму слоев покрытия.

По этим характеристикам судят о толщине каждого слоя покрытия.

Измерения по предлагаемому способу могут быть произведены, например, с помощью фазового и амплитудного измерителей толщины покрытий, работающих на соответствующих частотах и проградуированных в единицах толщины для образцов с однослойным эталонным покрытием. Так, для раздельного контроля меднооловянного двуслойного покрытия с толщиной медного слоя до 5 мкм и оловянного до 25 мкм при условии, что эффективный диаметр датчика равен 3 мм, первую частоту выбирают равной 80 КГЦ, а вторую 500 гц.

При таком выборе частот на первой частоте фаза вносимого напряжения одинакова для покрытий с равными суммами произведений толщины каждого слоя на его электропроводность.

Поэтому произведение толщины однослойного эталонного покрытия, эквивалентного по фазе вносимого напряжения измеряемому двуслойному покрытию, измеренной фазовым толщиномером, на его электропроводность равно сумме произведений толщины на электропроводность каждого слоя двуслойного покрытия.

При измерениях на второй частоте величина модуля вносимого напряжения будет одинаКОБОЙ для покрытий с равной суммой толщин слоев. Поэтому толщина эталонного покрытия, измеренная амплитудным толщиномером, равна сумме толщин слоев контролируемого двуслойного покрытия.

Используя найденные характеристики, толщину первого слоя определяют как отношение разности произведений электропроводности второго слоя на суммарную толщину слоев двуслойного покрытия и электропроводности эталонного покрытия на его толщину к разности электропроводностей второго и первого слоев, а толщину второго слоя - как разность суммарной толщины двуслойного покрытия и толп1,ины первого слоя.

Предмет изобретения

Электромагнитный способ измерения толщины двуслойных покрытий па ферромагнитной основе, заключающийся в том, что на контролируемую поверхность накладывают

датчик, катущку возбуждения которого питают токами двух фиксированных частот и о суммарной толщине покрытия судят по величине вносимого напряжения на датчике, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности также и раздельного измерения толщины каждого из слоев двуслойного покрытия, первую частоту подбирают так, чтобы фаза вносимого напряжения была функцией суммы произведений толщины каждого слоя на его электропроводность, а вторую частоту- так, чтобы величина вносимого напряжения зависела только от суммарной толщины покрытия, а о толщине каждого слоя судят по соотнощениию этих характеристик.