Геттерно-ионный насос Советский патент 1975 года по МПК H01J41/00 

Изобретение относится к области вакуумлоГ техники, в частности, к вакуумиы.м геттсрнои()1П1ы.м насосам.

11з: естны Р,акуум1-:ыс гстте 1но-и()ниыс HTiCi)сы, с()лс1)каш,ие кориус. н 1я кгг1а1 алы;ыГ| к.атод, )асноложе 1И1,п1 н зоне иашл.тения н aiio.iиеиарнтель пз металла III-B г;пл1Н1 1. например, скаилия.

Недостатками тих насосов яи.тяегся высокая иотреблясма.я М01ииость. необходимое гь И1)ииудите.тьиого .1аждения и небольики ерок с;|ужбы из-за высоксзй тс п С}1атуры в()льфрамо: 01Ч) катода.

Це.тыо изобретения является cini/KCiiiie иотребляс. моищостн i иовыи1С;1И.с cpiM-.:a с;1ужб1)1 ;iaeoca.

Д.тя этого аиол.-иснарите.ть В1) из металла нодгруииы лантанонлов. ианри С|), -х)бия или галолнння.

На че)теже схема.тически изобр;:жси иредложенныГ геттерно-иони1) liacoc.

Насос состоит нз KOiiiiyca 1. имс;ои1его иа| рубок 2 для ирис()е.тн:1еиия к откачиваемсмму обьемх и -jKpiiH 3, за.иииидпоиим o6i) от за.и1 |;1еП1я рабочим зеи1еств()м. кгм.пики -I. имсK)Hi, нпенгель о д.тя и;1исое;1инеиия к системе ирсдварител1-пои oi;-;a4Kii. зан;игио:о марана С) и нок().1я. сое I ояикмо из мета.1. о-керам;1чеекон ножки 7. Kc paMi;4ecKofi мОптаж|;оГ1 1найб1Л 8 с необходнмым числом электродных и моитажиых стг)ек 9 и смонтирозаниоС на Heii э.1ектродн() системы насоса, состояния н;

а 1о;1а-иснаритс,тя 10 из мстал.та IpyiiHbi лаи1аноидоз, ;)a3N;cHie:i;ioro з тангаловой чаи1ке 11. ьрямо ;ака;И)Ного катода 2 is ксрамнчеСК01Ч) экрана 13. смонтированных на ке 1амическои мо:1тажной И1анбе 8, жестко ciuKiaiiiioii с ме: а.1.10-ксрамнчсс1 ой ножке). 7 с иомонимо нсреМ1)1чек 1-1. Такая ко сгрхнчдня (ЛсктзодноЛ снстсл:ы южет быть исио. з качестве бес орнусного насоса н li обо.чочкх

Насос pa6vv;aeT слсд тон1ИЛ1 oбpaзo.

Э.чсктроиы, ЭМИ г iTipycMbc нака.1сн;11)1м каTo ;u)M -. бомбар:;нрун)т ано;;-исна м1 гс.ть 10. KOTOjMiiii ;ах() иод Н11.;ожнте. нотенина.чом от; осите. кориуса 1. в . ьтате :его 10 ia30i ;нм5ается до iv нclla i ры

и;нися ге i I ер осаждае1ся на стенках орнуса . образ я H.TCiiKy. Лктнвные газы иог.чонимо го; c3c ei:aHi bieHikiii ):ленко|1 гегтера. Благородные v:i3i, ноннз 1;пчотся :)Дект;н)нам1. .le1яии;мн с Kaivvia 2 ;ia анх1д 1 (). а загем vi6разовави1иеся ноны иод деисгвисм си.т ;I.)И;еско;-о ноля :iiiCH:iH:o гея в н.чсшчХ :e;ic/а iia корн .се 1 насоса. Так1;м .: :ч Hiec ; ii. 1Яе ; я о;ччачка ак:из:Ь Х н o.ia с.ю ; i: IX : а 3:;,

И нронсссе г::бо;н1 насоса ннонсходн: .оянна : а ч i нз;::1ОЗ а ча:;Ч,; 2 ней.:ряе.;:,;-.;

;-)3HiHi.;e: ея мис нонная CHOCo6iU)crb ка;ода Р. .еч.н;.:е ::о дч-о.чяемая мониюсун

и температура и отпадает неооходимисгь и, дополнительном охлаждении насоса.

I еттерпо-ионн1 Н насос, содс окани к рнус, прямопакальпып катод, pacHO,,iii

в ioiio наны.1ен11я п анод-иснаритсмь н.ч мста;1,1а 1II-B 1рунны, о т л п ч а ю щ и п с я тем, ч го, с дел1)1() iioiibiHienHH срока с.тужГмл насоса и сниженни нс)т)сб,чясмо11 MOHIHOCTII, а1 одиспаритель иыпСЛпсп пч мета,1,1а нолгруши, , :п1таа()ндо), на :;1ПлиЧ, :)ро1:я.