Манометр работает следующим образом.
При подаче на анод 4 и магнит I положительного потенциала возшткает электрический разряд, ток которого служит мерой давления. При низких давлениях разряд локализуется в узких прианодных слоях, прилегающих к аноду 4 и магниту 1. В этих слоях падает почти все анодное напряжение. Электроны, осциллирующие вдоль магнитного поля и дрейфующие вокруг оси, двигаются к аноду 4 лишь в результате редких ионизующих столкновений с атомами газа. Область вне слоев находится практически под потенциалом катодов (полюсных наконечников) и электрическое поле здесь мало. Ионы, двигаясь из слоев почти радиально, совершают колебания между слоями и, сталкиваясь с атомами газа, ионизуют их, создавая плазму во всем объеме, необходимую для поддержания разряда. Этот дополнительный механизм ионизации ионами в предложенном манометре позволяет при прочих равных параметрах измерять более низкие давления или, сохраняя тот же диапазон давлений, уменьшить анодное напряжение и габариты манометра.
С ростом давления приаиодные слои анода 4 и магнита 1 расширяются и при достаточно
высоком давлении смыкаются, так что все разрядное пространство, заполняется однородной плазмой. Величина электрического поля в плазме падает, уменьшается генерация электронов, а с ней и чувствительность манометра. Более низкая чувствительность обеспечивает увеличение предела измерений в сторону высоких давлений
При испытании предложенного манометра верхний предел измеряемых давлений достигает 5-10 мм рт. ст., а нижний 1 10 мм рт. ст.
Предмет изобретения
Магниторазрядный манометр, содержащий полый цилиндрический магнит, закрытый с торцов крыщжами в виде полюсных наконечников из магнитомяпкого материала с центральными отверстиями, стержневой анод, размещенный по оси магнита, и клеммы положительной и отрицательной полярности, отличающийся тем, что, с целью расщирения рабочего диапазона и уменьшения габаритов, он снабжен изолирующими прокладками, установленными между магнитом и полюсными наконечниками, а магнит соединен клеммой положительной полярности.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2013 |
|
RU2567770C2 |
Устройство для нанесения покрытий в вакууме | 1991 |
|
SU1832134A1 |
Ионный источник | 1985 |
|
SU1294189A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЧЕТЧИКА ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2020 |
|
RU2765146C1 |
МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС | 1983 |
|
SU1132727A1 |
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
Магниторазрядный масс-спектрометр | 1976 |
|
SU788226A1 |
УСКОРИТЕЛЬ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ | 1995 |
|
RU2084085C1 |
ИСТОЧНИК ИОНОВ | 1990 |
|
RU1766201C |
ИСТОЧНИК ИОНОВ (ВАРИАНТЫ) | 2001 |
|
RU2187218C1 |
Авторы
Даты
1975-11-30—Публикация
1974-07-26—Подача