Устройство для контактной печати Советский патент 1975 года по МПК G03B27/20 B41M3/08 

ся воздух из углубления 4, в результате чего фотошаблон 3 прижимается к крышке 2. После этого крышка 2 поворачивается фотошайлоном 3 книзу, включается двухходовой вакуумный вентиль 10, через штуцер 9 откачивается воздух из полости 8, благодаря чему осуш;ествляется герметичное прижатие крышки 2 к корпусу 1. Включается двухходовой вакуумный вентиль 16, через штуцер 15 откачивается воздух из полости 14 для соз,дания вакуума между рабочими поверхностями фотошаблона 3 и фотопластины 5. При откачке воздуха из полости 14 воздухонепроницаемая диафрагма 7 под действием атмосферного давления в полости 17 деформируется и равномерно прижимает фотопластину 5 к фотошаблону 3, создавая тесный контакт между ними.

Источником света фотопластина 5 экспонируется через фотошаблон 3.

Предмет изобретения

Устройство для контактной печати, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащее корпус, крышку, размещенные между ними фотошаблон с фотопластиной, средства для вакуумной откачки и экспонирования, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства, фотопластина размещена в углублении, выполненном в корпусе, в котором также выполнены полости, одна из которых соединена со средствами вакуумной откачки, а в другой, соединенной с системой подачи воздуха,

размещена эластичная воздухонепроницаемая диафрагма, причем фотошаблон размещен в углублении, выполненном в крышке, в которой также выполнена полость, соединенная со средствами вакуумной откачки.

А mnoccrif-sa

Апмосфера

Аттсфера