Способ изготовления окисносвинцовых слоев Советский патент 1975 года по МПК H01J29/10 

1

Изобретение относится к производству мишеней передающих телевизионных т.рубок типа видикон, используемых в вещательном и промышленном телевидении.

Процесс изготовления мишени состоит в том, что термическим испарением РЬО наносится на стеклянную планшайбу, имеющую прозрачный электрод. После напыления слой РЬО подвергается различного рода обработкам, в частности обработке сероводородом, после которой мищеиь приобретает чувствительность в длинноволновой области спектра.

В производстве используется окись свинца, в которой нормируется только содержание примесей посторонних элементов. Содержание избыточного свинца и органических примесей не нормируется. Кроме того, при взаимодействии РЬО с углекислотой и влагой, содержащимися в воздухе, образуются гидрокарбонаты. При испарении РЬО избыточный свинец, содержащийся в исходном материале, а также возникающий в результате разложения гидрока.рбонатов и выгорания органических примесей при вакуумном испарении РЬО, переносится в конденсат, приводя к иеконтролируемому отклонению состава конденсата от стехиометрии и, как следствие, к произвольному значению дырок и электронов, что приводит, в частности, к низкому сопротивлению слоев.

Вследствие этого видиконы с мишенью из окиси свинца имеют малую чувствительность, большие темновые токи, плохие характеристики хранения информации при работе в режиме «памяти, большую невоспроизводимость по свойствам.

Цель изобретения - улучшение качества слоев путем управления содержанием избыточного свинца в слое, определяющем концентрацию носителей тока и тип проводимости.

По предлагаемому способу это достигается тем, что исходное вещество для изготовления слоев окиси свинца методом термического испарения подвергают в определенной последовательности двум термообработкам при температуре 300-880°С, причем первую проводят в атмосфере кислорода при давлении 760 мм рт. ст., а вторую - в вакууме при давлении ниже 2- мм рт. ст.

Первая термообработка проводится перед испарением в атмосфере кислорода при давлении мм рт. ст. при температуре 300-880°С. Пеобходимость этой термообработки вызвана интенсивной сорбцией окисью свинца влаги, углекислого газа и органических примесей из воздуха при хранении и работе с веществом из ранее отработанной партии.

С помощью химического и масс-спектрального анализа показано, что содержание избыточ-ного свинца в окиси свинца, цодвергнутого описанной выше обработке, не превышает 10-зо/р.

Для регулирования содержания избыточного свинца непосредственно перед испарением проводится вторая термообработка окиси свинца при температуре 600-880°С в вакууме 2-10 -2-10 мм рт. ст. в течение 0,5-5 час. С ростом температуры термообработки от 300 до 880°С содержание избыточного свинца возрастает от 10- до .

Проведение двух термообработок позволяет получить образцы видиконов, близкие по параметрам к требованиям цветного телевидения. Введение термообработок при изготовлении видиконов, работающих в длинноволновой области спектра, приводит к повышению постоянной времени элементов мищени, резко снижает темповой тон, что позволяет применять их в малокадровых телевизионных системах с большим временем накопления.

Предмет изобретения

Способ изготовления окисносвинцовых слоев, в частности, мишеней видиконов термичесКИМ вакуумным напылением, отличающийся тем, что, с целью управления содержанием избыточного свипца в слое, пепосредственно перед термическим напылением проводят две термообработки окиси свинца в исходкой навеске при температуре 300-880°С, причем первую проводят в атмосфере кислорода при давлении мм рт. ст., вторую - в вакууме при давлении ниже 2-10-5 мм рт. ст.