Устройство для электролитического травления Советский патент 1976 года по МПК H01L21/66 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

заготовке, то сигнализатор 5 при помощи коммутатора размыкает цепь электролитического травления и включает световую сигнализацию об окончании процесса.

Если контролируемым параметром задан пиковый ток диода, то сигнализатор 5 не срабатывает и травление продолжается за счет химических процессов, обусловленных наличием электролита, а также электрохимических процессов, обусловленных падением напряжения на заготовке. Когда напряжение на заготовке превышает эталонное, разность напряжений меняет знак, и на выходе усилителя появляется противоположное по знаку напряжение, которое не может создать ток в цепи травления, поскольку вентиль 7 его не пропускает.

Поэтому с момента равенства напряжений на заготовке и эталонного, травление продолжается в условиях отсутствия помех для контроля параметров со стороны тока травления. Когда ток максимума заготовки, убывающий в процессе травления, достигает значения, равного эталонному, происходит переключение р-д-перехода заготов ки с туннельной на диффузионную ветвь. При этом сигнализатор 5 через коммутатор 6 размыкает цень травления и включает световую сигнализацию об окончании процесса.

Высокая скорость травления в описываемом устройстве достигается максимально возможным током травления и непрерывностью его подачи.

Формула изобретения

Устройство для электролитического травления полупроводниковых приборов, содержащее эталонный генератор напряжения, эталонный генератор тока, последовательно соединенные сигнализатор и коммутатор, отличающееся тем, что, с целью новышения скорости травления и точности контроля нараметров заготовки, в него дополнительно введены усилитель-ограничитель и вентиль, при этом один вход усилителя-ограничителя соединен с эталонным генератором напряжения, второй - с эталонным генератором тока, с заготовкой и сигнализатором, а выходы усилителя-ограничителя соединены с сигнализатором и через коммутатор с вентилем, выход которого соединен с заготовкой.