УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРУЙНОГО ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/461 H01L21/66 

Изобретение относится к области полупроводниковой техники, в частности, к оборудованию, применяемому для травления заготовок диодов, и может быть использовано при производстве и разработке туннельных.и обращенных диодов.

Известно устройство для струйного травления туннельных и обращенных диодов, содержащее эталонный диод, задающий релаксационный генератор, источник тока, коммутирующее и сигнальное устройства. Время цикла травления и время отмывки заготовки перед контролем задают .лзручную, а контроль производит оператор по экрану осциллографа.

Известное устройство не обеспечивает высокой производительности, точности и стабилизации режимов травления вследствие переходных процессов при коммутации и сложности настройки временных интервалов при травлении.

Цель изобретения - повыщение производительности и стабильности работы устройства и обеспечение возможности регулирования временных режимов при эксплуатации.

Цель достигается тем, что задающий релаксационный генератор выполнен со стабилизатором тока заряда накопительной емкости, выходной регулирующий транзистор которого одновременно служит в качестве прерывателя тока заряда накопительной емкости и управляется тем же эталонным туннельным диодом,, током максимума которого определяется момент прекращения процесса травления заготовки.

На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.

Устройство состоит из задающего релаксационного генератора /, накопительной емкости 2, эталонного диода 3, которым определяется величина тока максимума заготовки 4 после травления, сигнального устройства 5,. источника 6 тока травления, электромагнитных клапанов 7 и 8, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и воды,

поступающих через сопла 9 и 10; коммутирующего устройства //.

Работает устройство следующим образом. После загрузки заготовки накопительная емкость 2 задающего релаксационного генератора / зарял ается стабилизатором тока заряда 12. При этом ток на выходе задающего генератора, проходящий через заготовку , возрастает до величины тока максимума эталонного диода 3, установленного в генераторе /.

Заготовка при этом отмывается водой, так как клапан 7 открыт и вода поступает через сопло 9. При переключении эталонного диода на диффузионную ветвь характеристики выходной транзистор 13 стабилизатора тока генераемкости 2, так как цепь 14 разряда замыкается эталонным диодом 3. Сигнальное устройство 5 при этом не срабатывает, и начинается цикл травления.

В ходе цикла травления коммутатором И включен источник тока травления, обеспечивающий требуемый ток в струе электролита, поступающего через сопло 10, когда клапан 8 открыт. По окончании цикла травления ток на выходе генератора / падает до величины тока минимума эталонного диода 3. При этом разряд накопительной емкости 2 прекращается, так как эталонный диод запирает цепь разряда и открывает выходной транзистор У.З стабилизатора тока заряда; прекран ается подача электролита через клапан 8; отключается источник тока травления; открывается клапан воды 7 и подключается сигнальное устройство. После этого повторяется цикл измерения.

Если ток максимума заготовки больше тока максимума эталонного диода, то после окончания цикла измерения снова повторяется

цикл, травления. Если ток максимума заготовки равен или несколько меньще тока максимума эталонного диода, то срабатывает сигнальное устройство 5, при помощи коммутатора II травление прекращается и включается световой сигнал об окончании процесса.

Предмет изобретения

-Устройство для струйного электролитического травления полупроводниковых приборов по эталонному прибору, содержащее задающий релаксационный генератор,, источник тока травления, коммутатор и сигнализатор, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, обеспечения контроля и регулирования временных режимов, задающий релаксационный генератор содержит стабилизатор тока заряда накопительной емкости, выполненный на транзисторах, выходной транзистор которого используется в качестве прерывателя тока заряда накопительной емкости, )правляемого эталонным диодом.