Кассета для химическо% обработки изделий Советский патент 1976 года по МПК H01L21/203 

корпус 4. Якорь 6 вибродвигателя связан с сердечником упругим элементом 7, так что между якорем 6 и сердечником образуется зазор. Вибродвигатель 2 защищен от окружающей среды снизу сильфоном 8, который внутренней частью надет на якорь 6, а свободными концами герметично нрткренлен к корпусу 1 кассеты.

Вибродвигатели 3 горизонтальных колебаний расположены симметрично по окружности нижней части корпуса 1 кассеты и прикреплены корпусом 9 при помощи болта 10 к корпусу 1 кассеты. Катушка 11 прикреплена при помощи сердечника 12 к корпусу 9. Якорь 13 соединен с сердечником 12 упругим элементом 14, так что образуется зазор между якорем 13 и сердечником 12. Все вибродвигатели 3 горизонтальных колебаний также защищены от окружающей среды сильфонами 15, которые внутренней донной частью надеты на якори 13, а свободными концами герметично прикреплены к корпусу 9.

Все якори 6, 13 вибродвигателей 2, 3 являются опорами, посредством которых кассета ставится на ра-бочую поверхность в машине для химической обработки.

При подаче на катушки 5, 11 вибродвигателей 2, 3 переменного на-пряжения, между якорями 6, 13 и сердечниками вибродвигателей возникают переменные тяговые усилия, которые приводят кассету в колебательное движение в вертикальном и горизонтальном направлениях. Засчет согласованных колебаний вертикальных и горизонтальных вибродвигателей 2, 3 кассета будет совершать в среднем направленное вращательное движение, если оси горизонтальных вибродвигателей 3 симметрично расположены и направлены по касательной к окружности их крепления, или перемещаться по прямой линии на

5 опорной плоскости, если оси вибродвитателей 3 одинаково па раллельно направлены.

Направленное перемещение кассеты способствует перемещиванию жидкости, а направленные колебания кассеты интенсифицируют процесс химической обработки изделий и могут быть использованы для ориентированной загрузки изделий в кассету и их выгрузки.

5Формула изобретения

Кассета для химической обработки изделий, например полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, содержащая ко.рпус с пазами для размещения изделий, отличающаяся тем, что, с целью автоматизации загрузки изделий в кассету и выгрузки из нее и интенсификации процесса химической обработки, она снабжена вибродвигателями, корпус каждого из которых жестко

5 прикреплен к корпусу кассеты, причем яКОрь вибродвигателя вертикальных колебаний, связанный упругим элементом с сердечником и изолированный вместе с вибродвигателем от химической среды сильфоном, является

0 опорой кассеты, и его ось совпадает с осью . ее симметрии, а оси вибродвигателей горизонтальных колебаний расположены симметрично и направлены по касательной к окружности нижней части кассеты в горизонтальной

5 плоскости и также защищены сильфонами от окружающей среды.

7 0Z/5J