Электронный микроскоп Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП блок 11 видеоконтрольного устройства, предназначещ1Ый для получения визуапьноfo изображения исследуемого объекта во время сканирования по объекту электрон ного зонда; .генераторы разверток 12,пред-а назначенные для формирования отклоняюшихтоков или напряжений; источник питания 13, предназначенный для питания коллектора 6 вторичньк электронов и металличёского напыления сцинтилляцйЬннбгб чика 7. i Электронный микроскоп работает следующим образом. На исследуемый объект 5 алектроннооптической системой 2 фокусируется и нап- равляется электронный зонд 3, который с помощью отклоняющей системы сканирует по исследуемому объекту. Электронный зонд попав на объект, выбивает из него вторичные электроны, которые несут информацию об исследуемом объекте. Эти электроны полем коллектора 6 ускоряются и направляются на вход датчика 7 вторичных электронов который преобразовывает их в электрический ток или в апектг ические импульсы. По- лученные таким путем электрические импуль сы подаются на вход аналогового устройства, т. е. на вход импульсного усилителя 8, который усиливает и направляет их иа вход формирователя 9, где усиленные импульсы превращаются формирователем в стандартные импульсы. Далее стандартные импульсы направляются в интегрирующий операционный усилитель постоянного тока 1О, который преобразовывает их в аналоговое на- пряжение, пропорциональное частоте стандартных импульсов. Аналоговое напряжение поступает на вход индикаторного блока 11 видеоконтрольного устройства, который созДает конечное изображение той точки исследуемого объекта, в какой произошло взаимодействие электронного зонда 3 с исследуемым объектом 5. Индикаторный блок 11 видеоконтрольного устройства с помощью генератора разверток 12 и отклоняющей систек ы 4 формирует изображение исследу мого объекта 5 синхронно со сканироваием зонда3 по объекту. Аналоговое устройство позволяет получить зображение на экране видеоконтрольного усройства от очень малого (110 а/см) игнала, т. е. вплоть до единичного вторичного электрона от отдельного элемента поверхности исследуемого объекта, что увеличивает чувствительность прибора на три порядка. Ф о.р мула изобретения Электронный микроскоп, содержащий электронно-оптическую систему, коллектор,о датчик вторичных ;9Яект ронрв| и видеоконтрольное устройство с индикаторным блоком, отличающийся тем, что с целью повыщения чувствительности, он снабжен дискретно-аналоговым устройством, вход которого соединен с датчиком вторичных электронов, а выход - с входом индикаторного блока видеоконтрольного устрой- ства.

LYJ