ВСЕСОЮЗНАЯ iч r^-!•'.-^J"•^f•, '""'• ' • ••'' t.fi i '-i;; .кг •. А; ,V- •Б;:ь::Мо;'.::чд ; Советский патент 1971 года по МПК H04N5/321 G01B15/00 H01J37/26 

Изобретение относится к растровым электронным мнкрозондовым приборам.

Электронные микрозондовые приборы - рентгеновские микроанализаторы и растровые электронные микроскопы - хорошо известны, например прибор МАР-1.

В известных приборах участок анализа, например рентгеноснектральный, выбирается неподвижным зондом с помощью светового оптического микроскопа с большим увеличением. Зону анализа удается различить в микроскопе электронным зондом либо за счет загрязнения зоны анализа продуктами разложения паров масла, либо за счет излучений объекта в видимой части спектра.

Известные видеоконтрольные устройства растровых приборов не позволяют точно выбирать по изображению объекта зону анализа неподвижным зондом, так как изображение объекта на экране получают за счет непрерывного движения зонда, а при выключении развертки изображение на экране кинескопа отсутствует.

Целью изобретения является повышение разрешающей способности микрозондовых приборов, точности и локальности анализа.

троннолучевые трубки и блоки питания, введена схема формирования на экране электроннолучевых трубок сигнала положения неотклоненного луча на поверхности объекта. Предлагаемое вндеоконтрольное устройство позволяет исключить использование светового микроскопа, поскольку, во-первых, изображение объекта и зоны анализа может быть получено со значительно большим (по крайней

мере на порядок) полезным увеличением н разрешением; во-вторых, изображение объекта и зоны анализа получают при любом чистом вакууме н в любом виде вторичного излучения объекта при установке в камеру объектов соответствующих датчиков. Это значительно повышает точность выбора зоны анализа, локальность н диапазон исследований. Иа чертеже изображена схема формирования, состоящая из датчика положения луча по

координатам х и г/, например, отклоняющей системы , к которой подключены два формирователя 2 импульса положения пеотклоненного луча, уснлителей 3 и смесителя-формирователя 4, осуществляющего формирование

сложного видеосигнала.

На экране ЭЛТ получают изображение объекта с наложенной на него неподвижной яркостной меткой, например перекрестием двух линий. Центр перекрестия точно указывает зону локального анализа.

Предмет изобретения

Видеоконтрольное устройство растрового электронного микрозондового прибора, состоящее из генераторов разверток, блока индикаторов с электроннолучевыми трубками, видеоусилителей, детекторов вторичного излучения объекта, отклоняющих систем и источников питания, отличающееся тем, что, с целью повышения точности выбора зоны локального анализа объекта неподвижным зондом, улучшения локальности анализа и расширения диапазона исследований, в него введена двухканальная схема управления выбором зоны локального анализа, состоящая из формирователей сигнала положения неотклоненного зонда, усилителей и смесителя-формирователя видеосигнала.