Термоанемометрический датчик Советский патент 1976 года по МПК G01P5/12 

1

: Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при |иэмерениитурёулентности, «--идкостей и гаlaoB в аэрогидродинамике,

.1 Известны термоанемометрические дат

1чики, содержащие .подложку из электроизо пяционного материала, на торпе которой ;наиесена тонкая металлическая пленка и электрод, расположенный на оси подложки.

Цель изобретения - обеспечение про(странственной разрешающей способности (Путем уменьшения поверхности контакта до точки. Это достигается тем, что элеК трод, расположенный по оси подложки, |выполнен заостренным и острым концом ;прикреплен к металлической пленке.

На чертеже представлен термоанемомет рический датчик.

Термоанемометрический датчик содер жит чувствительный элемент 1 в виде тонкой металлической пленки, нанесенной jga..торец цилиндрической подложки 2, из

электроизоляционного материала и два токоподвода 3 и 4. Электрод 4, расположенный по оси подложки, выполнен заост ренным и острым концом прикреплен к металлической пленке.

Датчик работает следующим образом. Измерительный ток, пропорциональный скорости действующего на термоэлектрический датчик потока жидкости или газа, протекает через чувствительный элемент 1, представляющий собой тонкую металлическую пленку. Площадь кругового сечения металлической пленки уменьшается

по мере приближения к центральному электроду 4. Это приводит кУвели ению электрического сопротивления пленки, росту плотности измерительного тока и ра-- зогреву металлической пленки в месте ее

;контакта с центральным электродом. Площадь разогретого участка металлической

Пленки (пространственная разрешающая..

;способнасть) обеспечивается за счет вы« бора необходимой толщины пленки 1 и

: величины площади контакта с централь-

JHbiM электродом 4.

Формула изобретения,

Термоанемометрический датчик, содер жащий подложку из эпектроиэоляционногО материала, на торец которой нанесена тонкая металлическая пленка и электрод, расположенный по оси подложки, отличающийся тем, что, с целью обеспечения прос1ранственной разрешающей способности Путем уменьшения пО верхности контакта до точки, э/юктрод, расположенный по оси подложки, вьтолнен заостренным и острым концом прикреплен к металлической пленке.