Микрозондовое устройство Советский патент 1976 года по МПК H05K13/08 H05K1/08 

1

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в устройствах контроля на предприятиях, изготавливающих гибридные пленочные микросхемы.

Известны микрозондовые устройства, содержащие закрепленное в корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембраны, на которой закреплены контактные элементы.

Однако эти устройства не обеспечивают надежного контактирования из-за недостаточно пружинящих контактных элементов.

С целью повыщения надежности ко«тактировання в предлагаемом устройстве каждый контактный элемент выполнен в виде размещенного в отверстии мембраны Г-образного отрез ка проволоки, один конец которого закреплен в корпусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны,- иа ее внутренней стороне.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство в разрезе; па фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 - поперечный разрез мембраны с контактными элементами; на фиг. 4 - устройство в рабочем положении.

Микрозондовое устройство содержит корпус 1, на котором при помощп кольца 2 закреплена эластичная мембрана 3 из диэлектрическои, например маиларовой, пленки или мелкоячеистой тканн. Мембрана 3 имеет группу отверстий 4, диаметр которых равен 0,08 мм, топологически соответствующих расположению контактов проверяемой микросхемы.

В отверстиях 4 находятся расположенные в плоскости мембраны 3 Г-образные отрезки проволоки элемента 5, одни концы которых закреплены на внутренней стороне мембраны при помощи приклеек 6, а другие проходят через отверстия 7 в мембране 3, далее через отверстия 8 в диэлектрической втулке 9 и припаяны к находящимся на ней контактным лепесткам 10.

Собранными Б жгут И монтажными проводами 12 лепестки 10 соединены с измерительной аппаратурой.

В механическом контакте с мембраной 3 находится состоящий из мягкой резины прижим 13, над которым расположепы прижимная планка 14, щарик 15 и винт 16.

Корпус 1 закреплен в подъемном механизме 17 любой стойки 18 известного зондового устройства, например, типов «ЭМ-617, «ЭМ-624 и т. д., содержащего регулировочный столпк 19 для закрепления и перемещения микросхемы, микроскоп 20 и дополнительно снабженного пол ирозрачным зеркалом 21.

Микрозондовое устройство работает следующим образом.

При помощи подъемного механизма 17 корпус 1 микрозондового устройства поднимают в положение, показанное на чертеже. Микросхему закрепляют на столике 19 и, перемеuiHH последний, дости-гают совмещения наблюдаемых в микроскоп 20 через полупрозрачное зеркало 21 изображений контактов микросхем и контактных элементов 5 в областях их выхода из отверстий 4. Корпус 1 микрозондового устройства опускают, при этом контактные элементы 5 в области отверстий 4 контактируют с контактами микросхемы. Имеющийся разброс по высоте контактов микросхемы, достигающей ±0,030 мм, компенсируется локальными изгибами контактных элементов 5 мембраны 3 и деформациями прижима 13.

Формула изобретения

Микрозондовое устройство, содержащее закрепленное в корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембраны, на которой закреплены контактные элементы, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контактирования, каждый контактный элемент выполнен в виде размещенного в отверстии мембраны Г-образного отрезка проволоки, один конец которого закреплен в корнусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны, - на ее внутренней стороне.

//

0,1SФ0,0в

fu-i.