Контактное устройство для контроля интегральных схем на подложке Советский патент 1982 года по МПК H05K1/18 

Указанная цель достигеется тем, что контактное устройство для контро ля интегральных схем на подложке, содержащее блок позиционирования подложки, контактируюиий узел с зондами, микроскоп, соединительную печатную плату для соединения измери тельных цепей с зондами, снабжено узлом задания программы контроля, содержащим диэлектрическую пластину с отверстиями и упругими контактами, и широкополосными преобразователями, размещенными на соединительной плате которая расположена между контактирующим узлом и узлом задания программы контроля, при этом одна из попарно соединенных площадок соединиельной платал соединена с широкопоосным преобразователем ц одним коном упругого контакта узла задания рограммы контроля, а другая - с ондом, причем другие концы упруих контактов ;кестко закреплены в тверстиях диэлектрической пластиы и соединены между собой.

На фиг.1 показано предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг.2 то же, вид сверху.

Контактное устройство содержит блок 1 позиционирования для перемещения контролируемой микросхемы, основание 2, соединительную плату -3, контактирующий узел 4 с зондами 5, микроскоп б (для настройки зондов на контактные площадки микpocxeMti) , узел 7 задания программы контроля микросхемы, диэлектрическую пластину 8 узла задания программы контроля, прижимные фиксаторы 9, широкополосные преобразователи 1C, состоящие из высокочастотного акTHBHoio пробника 11, коммутирующих и согласующих элементов 12, эквивалента нагрузки 13 микросхем, высокочастотного соединителя 14, низкочастотного соединителя 15, упругие контакты 16, контактную печатную площадку 17, соединенную с зондом 5, и контактную печатную площадку 18, соединенную с широкополосным преобразователем 10, перемычки 19, печатные проводники 20, отверстия 21 в диэлектрической пластине 8, полупроводниковую пластину 22.

/Устройство работает следующим o6jta3OM.

После подключения устройства через высокочастотные 14 и низкочастотные 15 соединители к измерителю не показан) параметров микросхем и установки на соединительную плату 3 узла 7 задания програмки контроля с соответствующей программой измерения выводов микросхемы, испытательные сигналы от измерителя через широкополосные преобразователи 10

подаются по печатным проводникам 20на узел 7 задания программы контроля. В зависимости от назначения измерительной цепи испытательный сигнал через соответствующую печатную 5 контактную площадку 18, соединительную плату 3, контактирующий с ней упругий контакт 16, перемычку 19 (для примера на фиг.1 показан случай ближайшего расположения измерительной цепи и зонда), второй упругий контакт 16 и контактную печатную

площадку 17 поступает на соответствующий зонд 5 {входной, выходной, питания или корпус| контактирующего

5 узла 4.

Особенностью предлагаемого устройства является расположение вблизи зондов специальных узлов - широкополосных преобразователей 10, воспринимающих информацию с контактных площадок микросхемы через зонды и осуществляющих непосредственно вблизи зондов подключение необходимых 5 измерительных цепей к измерителю, а также их согласование. Измерительная информация о динамических параметрах контролируемых микросхем от преобразователей 10 подается че3Q рез высокочастотный разъем 14 и радиочастотные кабели в измеритель.

Широкополосные преобразователи 10 представляют собой широкополосные коммутируюише и согласующие узлы.

содержащие высокочастотный активный

пробник 11, коммутирующие и согласуюгдае элементы 12 (высокочастотные реле, согласующие широкополосные резиcтopы, эквивалент нагрузки 13 микросхем, высокочастотные 14 и низкочастотные 15 соединители, подключающие в зависимости от функционального назначения зонда по командам от измерителя соответствукодие элементы и

цепи, подающие через зоны на контактные площадки MHKpocxeNM на прддржке н Сходимые исгитательные сигналы и снимающие выходные сигналы с B JXOдов микросхемы.

Переход к изменению параметров . другого типа интегральных схем ( где; контактные площадки имеют уже дгэугие функциональное назначение и расположение J осуществляется узлом 7 заДания программы контроля. На узле 7 задания програм /1Ы контроля установлены соответствующие перемычки 19 таким образом, чтобы каждый зонд 5 контактирующего узла 4, контактные

площадки 17, 18 и входная измерительная цепь измерителя соответствовали своему функциональному назначению.

Узел 7 задания программа ко11троля микросхем состоит из диэлектрической пластины 8, упругих контактов 16, о ,верстий 21 и перемычек 19. Упругие контакты 16 устаночленн на диэлектрической пластине таким образом, чт одни их концы проходят в отверстие 21 в диэлектрической пластине 8 и контактирурэт с печатными контактным Ш1ош,алками 17 или 18, выполненными на соединительной плате 3, другие закреплены в отверстиях 21 и соединены между собой перемычками 19 в зарисимости от типа контролируемой микросхемы. Применение в предлагаемом устройстве узла 7 задания прогр va контроля указанной конструкции позволяет оперативно и без приложения большого усилия к зондам 5 { и соединительной штате з) при установ . ке и снятии програлданого узла 7 изменять программу контроля в зависимости от назначения выводов микросхем, обеспечив при этом необходиму точность и возможность поломки контактирукадих зондов 5 {при повороте прижимных фиксаторов 9) узел 7 без приложения усилия ( за счет подпружинивания контактов выходит из контактирования с соединительной платой 3 и легко снимается. Расположение узла 7 задания программы контроля и широкополосных прео разователей 10 вблизи зондов 5, а такке взаимодействие указанных узлов с зондами 5 и испытательной платой 3 дало возможность существенно уменьшить длину линий связи, улучшить согласование и соответственно, существенно уменьшить искажения подаваемых испытательных и снимаемых с контролируемой микросхеки широкополосных сигналов, что позволило

П

IS

а

Ф1и1 повысить точность измерений динамических параметров микросхем на подложке . Формула изобретения Контактное устройство для контроля интегральных схем на подложке, содержащее блок позиционирования подложки, контактирующий узел с зондами, микроскоп, соединительную печатную плату для соединения измерительных цепей с зондами, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля динамических параметров, оно снабжено узлом задания програмкы контроля, содержащим диэлектрическую пластину с отверстиями и упругими контактами, и широкополосными преобразователями, размещенными на соединительной плате, которая расположена между контактирующим узлом и узлом задания програмл« контроля, при этом одна из попарно соединенных контактных плсяцадок соединительной платы, соединена с широкополосным.преобразователем и одним концом упругого контакта узла задания программы контроля, а другая - с зондом, причем другие концы упругих контактов жестко закреплены в отверстиях диэлектрической пластины и соединены между собой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 274232, кл. Н 05 К 1/04, 1970. 2.Патент США № 3849728, л. 324-158, 1974 (прототип).