Датчик давления Советский патент 1976 года по МПК G01L9/04 

Описание патента на изобретение SU517818A1

разъем 11 для электрической связи с измерительным прибором {на чертеже не показан).

Датчик работает следующим образом. Под действием измеряемого давления мембрана 4 изгибает балку 5, причем на центральной перемычке 6 создается деформация растяжения, а на двух других периферийных неремычках- деформация сжатия.

Вследствие относительно малой жесткости перемычек 6 в процессе пагружения обе части балок 5 поворачиваются, сохраняя прямолинейность, благодаря чему плечо равнодействующей сил давления равно половине диаметра мембраны 4, т. е. максимально возможному значению.

В силу того, что силовоспринимающие перемычки 6 соединены через балки 5 с мембраной 4 только своими концами, резко уменьшится воздействие на тензорезисторы 8 паразитных деформаций, возникающих в мембране 4, и благодаря этому уменьшается нелинейность характеристик преобразования. Концы тензорезисторов 8, размещенных насиловоспринимающих перемычках 6, находятся в относительно разгруженной от напряжений зоне, что уменьшает ползучесть тензорезисторов 8, и, следовательно, также уменьшает нелинейность показаний датчиков.

Тензорезисторы 8 соединены в схему моста, на выходной диагонали которого возникает напряжение, пропорциональное измеряемому давлению.

Предлагаемый датчик может быть использован в системах автоматики для презиционного измерения давлений жидкостей или газов, особенно при быстропротекающих процессах, например, в гидросистемах испытательных мащин, стендов, высокоточных гидравлических динамометров.

Формула изобретения

Датчик давления,содержащий выполненные за одно целое цилиндрический корпус, мембрану с расположенной по ее диаметру упругой балкой и тензорезисторы, размещенные на

плоскости балки, параллельной плоскости мембраны, отличающийся тем, что, с целью повыщения чувствительности и уменьшения нелинейности, тензорезисторы размещены над выполненными в балке сквозными

отверстиями, оси которых расположены в плоскости, параллельной плоскости мембраны, причем ось одного из отверстий проходит через ось датчика, а оси двух других расположены симметрично относительно оси первого на расстоянии, определяемом соотнощением / (0,4 - 0,6) D, где D - диаметр мембраны.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1 Патент США № 2979680, кл. 338 - 5, 1971. 2. Патент ГДР № 56374, кл. 42k 14/04, 1967.

5 6

Похожие патенты SU517818A1

название год авторы номер документа
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2013
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Дмитриенко Алексей Геннадиевич
  • Белозубова Нина Евгеньевна
RU2547886C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2398195C1
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 2003
  • Тихоненков В.А.
  • Новиков А.А.
  • Эйстрих Л.Л.
RU2235981C1
Датчик давления и способ его изготовления 1990
  • Белозубов Евгений Михайлович
SU1796927A1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ И НАДЕЖНОСТИ 2012
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Хованов Дмитрий Михайлович
RU2480723C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С БАЛОЧНЫМ УПРУГИМ ЭЛЕМЕНТОМ 2016
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Кондратьев Андрей Владимирович
RU2619447C1
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1993
  • Зеленцов Ю.А.
RU2047113C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ БАЛОЧНОГО ТИПА 2012
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Кондратьев Андрей Владимирович
RU2520943C2
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 2009
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Васильева Светлана Александровна
  • Громков Николай Валентинович
RU2397460C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ПОВЫШЕННОЙ ТОЧНОСТИ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С ТОНКОПЛЕНОЧНЫМИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРАМИ 2010
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Васильев Валерий Анатольевич
  • Чернов Павел Сергеевич
RU2411474C1

Иллюстрации к изобретению SU 517 818 A1

Реферат патента 1976 года Датчик давления

Формула изобретения SU 517 818 A1

SU 517 818 A1

Авторы

Годзиковский Василий Александрович

Шкварников Евгений Васильевич

Санто Владимир Режевич

Даты

1976-06-15Публикация

1975-03-28Подача